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1. (WO2019063399) MEMS-VORRICHTUNG MIT UNTERDRÜCKUNG VON STÖRMODEN SOWIE ENTSPRECHENDES BETRIEBSVERFAHREN
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Veröff.-Nr.: WO/2019/063399 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/075431
Veröffentlichungsdatum: 04.04.2019 Internationales Anmeldedatum: 20.09.2018
IPC:
B81B 3/00 (2006.01) ,G01C 19/5733 (2012.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3
Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
G Physik
01
Messen; Prüfen
C
Messen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen; Geodäsie; Navigation; Kreiselgeräte; Fotogrammmetrie oder Videogrammmetrie
19
Kreiselgeräte; drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen; drehempfindliche Vorrichtungen ohne bewegliche Massen; Messen der Winkelgeschwindigkeit unter Benutzung von Kreiseleffekten
56
Drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen, z.B. schwingende Winkelgeschwindigkeitssensoren, die auf Grundlage der Corioliskraft arbeiten
5719
die ebene schwingende Massen nutzen, die entlang einer Achse in Form einer Translationsschwingung bewegt werden
5733
bauliche Einzelheiten oder räumliche Struktur
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
NEUL, Reinhard; DE
LASSL, Andreas; DE
DEGENFELD-SCHONBURG, Peter; DE
KUHLMANN, Nils Felix; DE
SCHATZ, Frank; DE
BODE, Niels; DE
KUEHNEL, Matthias; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 217 009.326.09.2017DE
Titel (DE) MEMS-VORRICHTUNG MIT UNTERDRÜCKUNG VON STÖRMODEN SOWIE ENTSPRECHENDES BETRIEBSVERFAHREN
(EN) MEMS DEVICE HAVING SUPPRESSION OF FAULT MODES AND CORRESPONDING OPERATING METHOD
(FR) DISPOSITIF MEMS PRÉSENTANT UNE SUPPRESSION DES MODES PARASITES ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT CORRESPONDANT
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung schafft eine MEMS-Vorrichtung sowie ein entsprechendes Betriebsverfahren. Die MEMS-Vorrichtung ist ausgestattet mit einem schwingungsfähigen mikromechanischen System (100), welches in einer Mehrzahl von Nutzmoden anregbar ist, wobei das schwingungsfähige mikromechanische System (100) mindestens eine Systemkomponente (1) aufweist, welche durch eine Überlagerung der Nutzmoden in mindestens einem parasitären Störmode anregbar ist. Es ist eine Abgleicheinrichtung (50) vorgesehen, welche derart gestaltet ist, dass sie durch Anlegen einer elektromagnetischen Wechselwirkung (W) an die Systemkomponente (1) dem parasitären Störmode entgegenwirkt.
(EN) The invention relates to a MEMS device and to a corresponding operating method. The MEMS device has a vibratory micromechanical system (100), which can be excited in a plurality of useful modes, wherein the vibratory micromechanical system (100) has at least one system component (1), which can be excited by an overlapping of the useful modes in at least one parasitic fault mode. According to the invention, there is a calibration unit (50), which is designed such that the calibration unit counteracts the parasitic fault mode by applying an electromagnetic interaction (W) to the system component (1).
(FR) L'invention concerne un dispositif MEMS et un procédé de fonctionnement correspondant. Le dispositif MEMS selon l'invention est conçu de manière à comporter un système micromécanique oscillant (100) pouvant être excité selon plusieurs modes d'utilisation. Ce système micromécanique oscillant (100) comporte au moins un composant de système (1) qui peut être excité selon au moins un mode parasite, par superposition des modes d'utilisation. Un dispositif de compensation (50) est prévu. Celui-ci est conçu pour contrecarrer le mode parasite par application d'une interaction électromagnétique (W) au composant de système (1).
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)