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1. (WO2019063185) VORRICHTUNG ZUR DICKENMESSUNG VON BESCHICHTUNGEN
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Veröff.-Nr.: WO/2019/063185 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/071992
Veröffentlichungsdatum: 04.04.2019 Internationales Anmeldedatum: 14.08.2018
IPC:
G01B 15/02 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
15
Messanordnungen unter Verwendung von Wellen- oder Teilchenstrahlung
02
zum Messen der Dicke
Anmelder:
MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GMBH & CO. KG [DE/DE]; Königbacher Str. 15 94496 Ortenburg, DE
Erfinder:
ZIEP, Christian; DE
RICHTER, Marc; DE
HINKEN, Johann; DE
Vertreter:
BECKER KURIG STRAUS; Bavariastrasse 7 80336 München, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 122 406.827.09.2017DE
Titel (EN) DEVICE FOR MEASURING THE THICKNESS OF COATINGS
(FR) DISPOSITIF POUR LA MESURE DE L'ÉPAISSEUR DE REVÊTEMENTS
(DE) VORRICHTUNG ZUR DICKENMESSUNG VON BESCHICHTUNGEN
Zusammenfassung:
(EN) The present invention relates to a measuring device for determining the thickness of a dielectric coat on a conductive substrate. The device comprises a resonance cavity for electromagnetic fields, which has a rotationally symmetrical wall, an end plate and an open end, and is adapted to be positioned by its open end on the dielectric layer. The device further comprises an antenna for exciting an electromagnetic field in the resonance cavity, a reflection meter for determining at least one property of the electromagnetic field and an evaluation circuit for determining the thickness of the dielectric coat from the at least one property of the electromagnetic field. The diameter of the rotationally symmetrical wall varies in a longitudinal direction of the resonance cavity.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de mesure pour déterminer l'épaisseur d'une couche diélectrique sur un substrat conducteur. Le dispositif comprend un espace creux à résonance pour des champs électromagnétiques, qui présente une paroi à symétrie de rotation, une plaque d'extrémité et une extrémité ouverte et qui est conçu pour être placé avec l'extrémité ouverte sur la couche diélectrique. En outre, le dispositif comprend une antenne pour exciter un champ électromagnétique dans l'espace creux de résonance, un appareil de mesure de réflexion pour déterminer au moins une propriété du champ électromagnétique et un circuit d'évaluation pour déterminer l'épaisseur de la couche électrique à partir de ladite au moins une propriété du champ électromagnétique. Un diamètre de la paroi à symétrie de rotation varie dans une direction longitudinale de l'espace creux de résonance.
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Messvorrichtung zur Bestimmung der Dicke einer dielektrischen Schicht auf einem leitfähigen Substrat. Die Vorrichtung umfasst einen Resonanzhohlraum für elektromagnetische Felder, der eine rotationssymmetrische Wand, eine Endplatte und ein offenes Ende aufweist, und die angepasst ist mit dem offenen Ende auf der dielektrischen Schicht platziert zu werden. Weiter umfasst die Vorrichtung eine Antenne zum Anregen eines elektromagnetischen Feldes in dem Resonanzhohlraum, ein Reflexionsmessgerät zum Ermitteln mindestens einer Eigenschaft des elektromagnetischen Feldes und eine Auswerteschaltung zum Bestimmen der Dicke der dielektrischen Schicht aus der mindestens einen Eigenschaft des elektromagnetischen Feldes. Ein Durchmesser der rotationssymmetrischen Wand variiert in einer Längsrichtung des Resonanzhohlraums.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)