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1. (WO2019058358) ECHTZEIT MONITORING EINES MEHRZONEN-VERTIKALOFENS MIT FRUEHZEITIGER ERKENNUNG EINES AUSFALLS EINES HEIZZONEN-ELEMENTS
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Veröff.-Nr.: WO/2019/058358 Internationale Anmeldenummer PCT/IB2018/057414
Veröffentlichungsdatum: 28.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 25.09.2018
IPC:
F27B 17/00 (2006.01) ,G01R 31/28 (2006.01) ,F27D 21/00 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,H04M 3/08 (2006.01) ,H05B 3/14 (2006.01) ,G01R 31/02 (2006.01) ,F27D 19/00 (2006.01)
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
27
Industrieöfen; Schachtöfen; Brennöfen; Retorten
B
Industrieöfen, Schachtöfen, Brennöfen, Retorten allgemein; offene Sinterapparate oder ähnliche Vorrichtungen
17
Industrieöfen, die nicht von einer der Gruppen F27B1/-F27B15/98
G Physik
01
Messen; Prüfen
R
Messen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
31
Anordnungen zum Prüfen auf elektrische Eigenschaften; Anordnungen zur Bestimmung des Ortes elektrischer Fehler; Anordnungen zum elektrischen Prüfen, gekennzeichnet durch den zu prüfenden Gegenstand, soweit nicht anderweitig vorgesehen
28
Prüfen elektronischer Schaltungen, z.B. Signalverfolger
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
27
Industrieöfen; Schachtöfen; Brennöfen; Retorten
D
Einzelheiten oder Zubehör für Industrieöfen, Schachtöfen, Brennöfen oder Retorten, soweit sie nicht auf eine Ofenart eingeschränkt sind
21
Anordnung von Überwachungseinrichtungen; Anordnungen von Sicherheitseinrichtungen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
H Elektrotechnik
04
Elektrische Nachrichtentechnik
M
Fernsprechverkehr
3
Automatische oder halbautomatische Vermittlungen
08
Fehleranzeige in Schaltungen oder Apparaten
H Elektrotechnik
05
Elektrotechnik, soweit nicht anderweitig vorgesehen
B
Elektrische Heizung; elektrische Beleuchtung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
3
Widerstandsheizung
10
Heizelemente, gekennzeichnet durch die Zusammensetzung oder durch die Art der Werkstoffe bzw. durch die Anordnung des Leiters (Werkstoffzusammensetzungen an sich, siehe die entsprechenden Unterklassen)
12
gekennzeichnet durch die Zusammensetzung oder die Art des leitenden Werkstoffes
14
des nichtmetallischen Werkstoffes
G Physik
01
Messen; Prüfen
R
Messen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
31
Anordnungen zum Prüfen auf elektrische Eigenschaften; Anordnungen zur Bestimmung des Ortes elektrischer Fehler; Anordnungen zum elektrischen Prüfen, gekennzeichnet durch den zu prüfenden Gegenstand, soweit nicht anderweitig vorgesehen
02
Prüfen elektrischer Geräte, Leitungen oder Bauelemente auf Kurzschluss, Leitungsunterbrechung, Durchgang oder unrichtigen Leitungsanschluss
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
27
Industrieöfen; Schachtöfen; Brennöfen; Retorten
D
Einzelheiten oder Zubehör für Industrieöfen, Schachtöfen, Brennöfen oder Retorten, soweit sie nicht auf eine Ofenart eingeschränkt sind
19
Anordnung von Steuer- oder Regelvorrichtungen [Feuerbrücken]
Anmelder:
X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES GMBH [DE/DE]; Haarbergstrasse 67 99097 Erfurt, DE
Erfinder:
GRUBER, Sven; DE
Vertreter:
LEONHARD & PARTNER PATENTANWAELTE; Tal 30 80331 Muenchen, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 122 205.725.09.2017DE
10 2018 101 010.918.01.2018DE
Titel (EN) REAL-TIME MONITORING OF A MULTI-ZONE VERTICAL FURNACE WITH EARLY DETECTION OF A FAILURE OF A HEATING ZONE ELEMENT
(FR) SURVEILLANCE EN TEMPS RÉEL D'UN FOUR VERTICAL À PLUSIEURS ZONES, DOTÉE D'UNE DÉTECTION PRÉCOCE DE L'ARRÊT D'UN ÉLÉMENT DE ZONE CHAUFFANTE
(DE) ECHTZEIT MONITORING EINES MEHRZONEN-VERTIKALOFENS MIT FRUEHZEITIGER ERKENNUNG EINES AUSFALLS EINES HEIZZONEN-ELEMENTS
Zusammenfassung:
(EN) The aim of the invention is to help avoid wafer losses in thermal treatment. Wafers have values of up to 150,000 euros per batch. Therefore, unplanned failure of the thermal device for treating the wafers should be avoided. The method according to the invention for monitoring the thermal device(s) (100) for receiving and controlling the temperature of wafer lots or batches of wafers uses a continuously applied measurement of a resistance value (R1) in at least one heating zone (1') of a plurality of heating zones (1', 2', 3', 4', 5') of the thermal device. The currently measured value (R1(i)) of the resistance (1) in the associated heating zone (1') is compared with a previously measured value (R1(i-1)) of the same resistance (1). A warning or an alarm (90) for the thermal device (100) is already generated when a deviation (ΔRi) of the two resistance values from the same heating zone (1') is detected by means of the comparison, said warning or alarm occurring temporally before a failure of a whole heating zone (1) of the thermal device (100). Improved ability to plan resources is a further goal.
(FR) L'invention vise à éviter les pertes de plaquettes lors d'un traitement thermique. Les plaquettes représentent une valeur de jusqu'à 150.000 euros par charge. Aucun arrêt non planifié du dispositif thermique destiné au traitement des plaquettes ne doit donc plus survenir. La solution selon l'invention de surveillance du ou des dispositifs thermiques 100 destiné(s) à recevoir et à traiter thermiquement des lots ou des charges de tranches utilise une mesure, appliquée de manière durable, d'une valeur de résistance Ri dans au moins une zone chauffante 1' parmi plusieurs zones chauffantes 1', 2', 3', 4', 5' du dispositif thermique. La valeur en cours R1(i) à chaque fois mesurée de la résistance 1 dans la zone chauffante associée 1' est comparée à une valeur R1(i-1) mesurée préalablement de la même résistance 1. Lors de la détection d'une déviation ΔRi par la comparaison des deux valeurs de résistance de la même zone chauffante 1', une alerte ou une alarme 90 est déjà générée pour le dispositif thermique 100, qui est située, d'un point de vue temporel, avant un arrêt de toute une zone chauffante 1 dans le dispositif thermique 100. Une meilleure aptitude à la planification de ressources est un autre but.
(DE) Die Erfindung soll Waferverluste beim thermischen Behandeln zu vermeiden helfen. Wafer haben Werte von bis zu 150.000 EUR pro Charge. Es soll also kein ungeplanter Ausfall der thermischen Einrichtung zur Behandlung der Wafer mehr eintreten. Das vorgeschlagene Verfahren der Überwachung der thermischen Einrichtung(en) 100 zur Aufnahme und Temperierung von Waferlosen oder Chargen von Wafern verwendet eine dauerhaft angelegte Messung eines Widerstandswertes R1 in zumindest einer Heizungszone 1' von mehreren Heizungszonen 1', 2', 3', 4', 5' der thermischen Einrichtung. Der jeweils aktuell gemessene Wert R1(i) des Widerstands 1 in der zugehörigen Heizungszone 1' wird mit einem zuvor gemessenen Wert R1(i-1) desselben Widerstands 1 verglichen. Schon bei einer durch den Vergleich erfassten Abweichung ΔRi der beiden Widerstandswerte aus der gleichen Heizungszone 1' wird eine Warnung oder ein Alarm 90 für die thermische Einrichtung 100 generiert, der zeitlich vor einem Ausfall einer ganzen Heizungszone 1 in der thermischen Einrichtung 100 gelegen ist. Eine bessere Planbarkeit von Ressourcen ist ein weiteres Ziel.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)