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1. (WO2019053156) MESSANORDNUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2019/053156 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/074800
Veröffentlichungsdatum: 21.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 13.09.2018
IPC:
G01D 5/245 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
D
Anzeigen oder Aufzeichnen in Verbindung mit Messen allgemein; Einrichtungen oder Instrumente zum Messen von zwei oder mehr Veränderlichen, soweit nicht von einer anderen Unterklasse umfasst; Tarifmessgeräte; Übertragungs- oder Umwandlungseinrichtungen, die nicht an eine spezielle Veränderliche angepasst sind; Messen oder Prüfen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
5
Mechanische Vorrichtungen zur Übertragung des Ausgangssignals eines Abtast-Elements; Einrichtungen zum Umformen des Ausgangssignals des Abtast-Elements in eine andere Veränderliche wobei die Art und Beschaffenheit des Abtast-Elements nicht die Mittel des Umformens bedingt; Messgrößenumwandler, die nicht an eine spezielle Veränderliche angepasst sind
12
mit elektrischen oder magnetischen Mitteln
244
Messwertumformung durch Beeinflussen der Merkmale von Impulsen oder Impulsfolgen; Erzeugung von Impulsen oder Impulsfolgen
245
Messwertumformung durch Beeinflussung der Impulszahl in einer Impulsfolge
Anmelder:
BOGEN ELECTRONIC GMBH [DE/DE]; Potsdamer Straße 12 - 13 14163 Berlin, DE
Erfinder:
BECKER, Torsten; DE
Vertreter:
PATERIS PATENTANWÄLTE PARTMBB; Altheimer Eck 13 80331 München, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 121 524.715.09.2017DE
Titel (EN) MEASURING ARRANGEMENT
(FR) DISPOSITIF DE MESURE
(DE) MESSANORDNUNG
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a measuring arrangement having an object (14), which has a magnetic scale (2), and a chip (22), which is arranged at a distance from the magnetic scale (2) and has a section (5) of a processed wafer and at least one row (7, 8) of magnetoresistive sensor elements (6) which are fitted to at least one flat wafer side (12) of the section (5). The magnetoresistive sensor elements (6) are set up to detect a magnetic field coming from the magnetic scale (2), with the result that the measuring arrangement (1) is set up to measure the position of the object (14), wherein the flat wafer side (12) to which the magnetoresistive sensor elements (6) are fitted is arranged in a manner facing and/or facing away from the magnetic scale (2).
(FR) L’invention concerne un dispositif de mesure, comprenant un objet (14) pourvu d’une échelle magnétique (2) et d’une puce (22) disposée à distance de l’échelle magnétique (2), et une partie (5) d’une plaquette traitée et au moins une rangée (7, 8) d’éléments de détection magnétorésistifs (6) qui sont montés sur au moins un côté de la plaquette (12) sensiblement bidimensionnelle de la pièce (5). Les éléments de détection magnétorésistifs (6) sont conçus pour détecter un champ magnétique émanant de l’échelle magnétique (2) de sorte que le dispositif de mesure (1) est conçu pour mesurer la position de l’objet (14). Le côté plaquette (12) sensiblement bidimensionnel, sur lequel les éléments de détection magnétorésistifs (6) sont montés, est disposé en étant tourné vers l’échelle magnétique (2) et/ou à l’opposé de celle-ci.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Messanordnung mit einem Gegenstand (14), der eine magnetische Skala (2) aufweist, und einem Chip (22), der in einem Abstand zu der magnetischen Skala (2) angeordnet ist und ein Teilstück (5) eines prozessierten Wafers und mindestens eine Zeile (7, 8) von magnetoresistiven Sensorelementen (6) aufweist, welche an mindestens einer flächigen Waferseite (12) des Teilstücks (5) angebracht sind. Die magnetoresistiven Sensorelemente (6) sind eingerichtet, ein von der magnetischen Skala (2) ausgehendes Magnetfeld zu detektieren, so dass die Messanordnung (1) eingerichtet ist, die Position des Gegenstands (14) zu messen, wobei die flächige Waferseite (12), an der die magnetoresistiven Sensorelemente (6) angebracht sind, der magnetischen Skala (2) zugewandt und/oder abgewandt angeordnet ist.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)