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1. (WO2019053153) HANDHABUNGSVORRICHTUNG ZUM HANDHABEN EINER MESSSONDE
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Veröff.-Nr.: WO/2019/053153 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/074795
Veröffentlichungsdatum: 21.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 13.09.2018
IPC:
G01Q 70/02 (2010.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
Q
Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür; Anwendung von Rastersondentechniken, z.B. Rastersondenmikroskopie [Scanning-Probe Microscopy = SPM]
70
Allgemeine Aspekte zu SPM-Sonden, deren Herstellung und zugehörigen Geräten, sofern sie nicht in besonderer Weise für eine einzelne der SPM-Techniken unter G01Q60/183
02
Sondenhalterungen
Anmelder:
ANTON PAAR GMBH [AT/AT]; Anton-Paar-Str. 20 8054 Graz, AT
Erfinder:
PINNO-RATH, Norbert; AT
LEUPRECHT, Gernot; AT
KOLLER, Daniel; AT
Vertreter:
DILG, Andreas; Dilg, Haeusler, Schindelmann Patentanwaltsgesellschaft mbH Leonrodstr. 58 80636 München, DE
Prioritätsdaten:
A50765/201713.09.2017AT
Titel (EN) HANDLING DEVICE FOR HANDLING A MEASURING PROBE
(FR) DISPOSITIF DE MANIPULATION POUR MANIPULER UNE SONDE DE MESURE
(DE) HANDHABUNGSVORRICHTUNG ZUM HANDHABEN EINER MESSSONDE
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a handling device (50) for handling a measuring probe (12) of a scanning probe microscope (81). The measuring probe (12) has a probe body (51) and a probe tip (85) which is coupled to the probe body (51) by means of a cantilever (52), and the handling device (50) has a receiving device (53) for receiving the measuring probe (12) on a receiving surface (54); a guide structure (55) in which the measuring probe (12) can be guided and in the process the probe body (51) is bordered at least over a part of the probe body circumference and the cantilever (52) and the probe tip (85) are supported in a contact-free manner; and a transport device (56) for transporting the measuring probe (12) from the receiving surface (54) to a target surface (57) along the guide structure (55).
(FR) L’invention concerne un dispositif de manipulation (50) destiné à manipuler une sonde de mesure (12) d’un microscope à sonde à balayage (81). La sonde de mesure (12) comporte un corps de sonde (51) et une pointe de sonde (85) accouplée au corps de sonde (51) au moyen d’un bras en porte-à-faux (52). Le dispositif de manipulation (50) comprend un moyen de réception (53) destiné à recevoir la sonde de mesure (12) sur une surface de réception (54), une structure de guidage (55) dans laquelle la sonde de mesure (12) peut être guidée et le corps de sonde (51) est limitée au moins partiellement en étendue et dans laquelle le bras en porte-à-faux (52) et la pointe de sonde (85) sont montés sans contact, et un moyen de transport (56) destiné transporter la sonde (12) de la surface de réception (54) à une surface cible (57) le long de la structure de guidage (55).
(DE) Handhabungsvorrichtung (50) zum Handhaben einer Messsonde (12) eines Rastersondenmikroskops (81), wobei die Messsonde (12) einen Sondenkörper (51) und eine mittels eines Auslegers (52) mit dem Sondenkörper (51) gekoppelte Sondenspitze (85) aufweist, wobei die Handhabungsvorrichtung (50) eine Aufnahmeeinrichtung (53) zum Aufnehmen der Messsonde (12) an einer Aufnahmefläche (54), eine Führungsstruktur (55), in der die Messsonde (12) führbar ist und dabei der Sondenkörper (51) zumindest teilumfänglich begrenzt ist und der Ausleger (52) und die Sondenspitze (85) berührungsfrei gelagert sind, und eine Transporteinrichtung (56) zum Transportieren der Messsonde (12) von der Aufnahmefläche (54) entlang der Führungsstruktur (55) zu einer Zielfläche (57) aufweist.
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)