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1. (WO2019053136) BESTIMMUNG VON ABERRATIONEN MITTELS WINKEL-VARIABLER BELEUCHTUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2019/053136 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/074768
Veröffentlichungsdatum: 21.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 13.09.2018
IPC:
G02B 21/06 (2006.01) ,G02B 21/24 (2006.01) ,G02B 21/36 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
21
Mikroskope
06
Einrichtungen zum Beleuchten von Objekten
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
21
Mikroskope
24
Grundlegender Aufbau
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
21
Mikroskope
36
für fotografische oder Projektionszwecke
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
Anmelder:
CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena, DE
Erfinder:
STOPPE, Lars; DE
Vertreter:
NEUSSER, Sebastian; DE
STICHT, Andreas; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 121 291.414.09.2017DE
Titel (EN) DETERMINING ABERRATIONS BY MEANS OF VARIABLE-ANGLE ILLUMINATION
(FR) DÉFINITION D'ABERRATIONS AU MOYEN D'UN ÉCLAIRAGE À ANGLE VARIABLE
(DE) BESTIMMUNG VON ABERRATIONEN MITTELS WINKEL-VARIABLER BELEUCHTUNG
Zusammenfassung:
(EN) An optical device comprises an illumination module (111), a detection optical system (112) and a detector (114), as well as a controller. The latter is designed to actuate the illumination module (111) to illuminate a specimen (150) from multiple illumination directions (171, 172, 173). The controller is also designed to actuate the detector (114) to capture images, wherein each image contains a reproduction (151, 152, 153) of the specimen (150) obtained by the detection optical system (112) on illumination in a corresponding illumination direction (171, 172, 173). The controller (115) is also designed to determine at least one aberration in the detection optical system (112) on the basis of the images (601, 602, 603).
(FR) L'invention concerne un dispositif optique comprenant un module d'éclairage (111), une optique de détection (112) et un détecteur (114), ainsi qu'une commande. Celui-ci est mis au point pour piloter le module d'éclairage (111) servant à éclairer un objet échantillon (150) à partir de plusieurs directions d'éclairage (171, 172, 173). La commande est par ailleurs mise au point pour piloter le détecteur (114) servant à détecter des images. Chaque image renferme une reproduction (151, 152, 153), obtenue par l'optique de détection (112), de l'objet échantillon (150) lors de l'éclairage le long d'une direction d'éclairage (171, 172, 173) correspondante. La commande (115) est par ailleurs mise au point pour définir sur la base des images (601, 602, 603) au moins une aberration de l'optique de détection (112).
(DE) Eine optische Vorrichtung umfasst ein Beleuchtungsmodul (111), eine Detektionsoptik (112) und einen Detektor (114), sowie eine Steuerung. Diese ist eingerichtet, um das Beleuchtungsmodul (111) zum Beleuchten eines Probenobjekts (150) aus mehreren Beleuchtungsrichtungen (171, 172, 173) anzusteuern. Die Steuerung ist weiterhin eingerichtet, um den Detektor (114) zum Erfassen von Bildern anzusteuern, wobei jedes Bild ein durch die Detektionsoptik (112) erhaltenes Abbild (151, 152, 153) des Probenobjekts (150) bei Beleuchtung entlang einer entsprechenden Beleuchtungsrichtung (171, 172, 173) beinhaltet. Die Steuerung (115) ist weiterhin eingerichtet, um basierend auf den Bildern (601, 602, 603) mindestens eine Aberration der Detektionsoptik (112) zu bestimmen.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)