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1. (WO2019050659) HIGH QUALITY FACTOR MEMS SILICON HINGE AND SLOT-CUT RESONATOR FOR A VIBRATORY GYROSCOPE
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Veröff.-Nr.: WO/2019/050659 Internationale Anmeldenummer PCT/US2018/046559
Veröffentlichungsdatum: 14.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 13.08.2018
IPC:
G01C 19/5684 (2012.01) ,G01M 7/02 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
C
Messen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen; Geodäsie; Navigation; Kreiselgeräte; Fotogrammmetrie oder Videogrammmetrie
19
Kreiselgeräte; drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen; drehempfindliche Vorrichtungen ohne bewegliche Massen; Messen der Winkelgeschwindigkeit unter Benutzung von Kreiseleffekten
56
Drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen, z.B. schwingende Winkelgeschwindigkeitssensoren, die auf Grundlage der Corioliskraft arbeiten
567
die die Phasenverschiebung eines Schwingungsknotens oder eines Schwingungsbauchs nutzen
5677
von in der Hauptsache zweidimensionalen Schwingkörpern, z.B. ringförmigen Schwingkörpern
5684
wobei die Anordnungen einen mikromechanischen Aufbau aufweisen
G Physik
01
Messen; Prüfen
M
Prüfen der statischen oder dynamischen Massenverteilung rotierender Teile von Maschinen oder Konstruktionen; Prüfen von Konstruktionsteilen oder Apparaten, soweit nicht anderweitig vorgesehen
7
Schwingungsprüfungen von Bau- oder Maschinenteilen; Stoßprüfung von Konstruktions- oder Maschinenteilen
02
Schwingungsprüfung
Anmelder:
HRL LABORATORIES, LLC [US/US]; 3011 Malibu Canyon Road Malibu, California 90265-4799, US
Erfinder:
HUANG, Lian X.; US
SORENSON, Logan D.; US
CHANG, Chia-ming "Gavin"; US
PERAHIA, Raviv; US
NGUYEN, Hung; US
CHANG, David T.; US
Vertreter:
LUSINCHI, Laurent P.; US
BERG, Richard P.; US
TOWER, Lee W.; US
GALLENSON, Mavis S.; US
KOBZEFF, Joseph M.; US
Prioritätsdaten:
62/555,61707.09.2017US
Titel (EN) HIGH QUALITY FACTOR MEMS SILICON HINGE AND SLOT-CUT RESONATOR FOR A VIBRATORY GYROSCOPE
(FR) CHARNIÈRE EN SILICIUM MEMS À FACTEUR DE QUALITÉ ÉLEVÉ ET RÉSONATEUR À FENTE COUPÉE POUR GYROSCOPE VIBRANT
Zusammenfassung:
(EN) A resonant structure comprising at least two coaxial rings, wherein adjacent coaxial rings have adjacent peripheries and are attached together by a plurality of connection structures regularly arranged along said adjacent peripheries; and wherein a first ring has a first ring portion with a first radial thickness and a second ring portion, in a vicinity of a first connection structure, with a second radial thickness smaller than said first radial thickness.
(FR) La présente invention concerne une structure résonante qui comprend au moins deux anneaux coaxiaux, des anneaux coaxiaux adjacents ayant des périphéries adjacentes et étant fixés conjointement par une pluralité de structures de raccordement agencées de façon régulière le long desdites périphéries adjacentes ; et un premier anneau ayant une première partie annulaire avec une première épaisseur radiale et une deuxième partie annulaire, à proximité d’une première structure de raccordement, ayant une deuxième épaisseur radiale inférieure à ladite première épaisseur radiale.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)