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1. (WO2019050620) AUTOMATIC CLEANING MACHINE FOR CLEANING PROCESS KITS
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Veröff.-Nr.: WO/2019/050620 Internationale Anmeldenummer PCT/US2018/041670
Veröffentlichungsdatum: 14.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 11.07.2018
IPC:
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
02
Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Teilen davon
Anmelder:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Erfinder:
NANGOY, Roy C.; US
D'AMBRA, Allen L.; US
PAPKE, Kevin A.; US
Vertreter:
PATTERSON, B. Todd; US
TABOADA, Keith; US
Prioritätsdaten:
15/784,96316.10.2017US
62/555,49207.09.2017US
Titel (EN) AUTOMATIC CLEANING MACHINE FOR CLEANING PROCESS KITS
(FR) MACHINE DE NETTOYAGE AUTOMATIQUE POUR LE NETTOYAGE DE KITS DE TRAITEMENT
Zusammenfassung:
(EN) Disclosed herein is an apparatus for cleaning a process kit comprising a body, a cleaning source, and a control system. The body is formed from multiple modules configured to couple to, and receive therein, a process kit part. A plurality of cleaning agents may be sequentially delivered to the body in order to remove the particles disposed on the process part.
(FR) L'invention concerne un appareil permettant de nettoyer un kit de traitement comprenant un corps, une source de nettoyage et un système de commande. Le corps est constitué de multiples modules conçus pour s'accoupler à une partie de kit de traitement et recevoir celui-ci en leur sein. Une pluralité d'agents de nettoyage peut être distribuée de manière séquentielle au corps afin d'éliminer les particules disposées sur la partie de traitement.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)