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1. (WO2019048202) GASSENSOR ZUM MESSEN EINER KONZENTRATION EINES ANALYSEGASES
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Veröff.-Nr.: WO/2019/048202 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/072171
Veröffentlichungsdatum: 14.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 16.08.2018
IPC:
G01N 27/18 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
27
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwendung elektrischer, elektrochemischer oder magnetischer Mittel
02
durch Ermittlung der Impedanz
04
durch Untersuchen des Widerstandes
14
eines elektrisch beheizten Körpers in Abhängigkeit von der Temperaturänderung
18
verursacht durch Änderungen der Wärmeleitfähigkeit eines umgebenden Stoffes, der zu prüfen ist
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
MUELLER, Renate; DE
FREY, Tobias Sebastian; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 215 527.205.09.2017DE
Titel (EN) GAS SENSOR FOR MEASURING A CONCENTRATION OF AN ANALYSIS GAS
(FR) CAPTEUR DE GAZ POUR MESURER UNE CONCENTRATION DE GAZ D'ANALYSE
(DE) GASSENSOR ZUM MESSEN EINER KONZENTRATION EINES ANALYSEGASES
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a gas sensor for measuring a concentration of an analysis gas based on a thermal conductivity principle, comprising at least one analysis heating element arranged on a first membrane for heating the analysis gas, a reference heating element arranged on a second membrane for heating a reference gas, and at least one evaluation electronics system for measuring a change in resistance of the analysis heating element relative to an electrical resistance of the reference heating element caused by the analysis gas, wherein the first membrane and the second membrane are arranged next to one another in a sensor substrate and wherein, by means of base substrate arranged on one side of the sensor substrate, a measuring volume can be formed between the first membrane and the base substrate and a reference volume can be formed between the second membrane and the base substrate.
(FR) La présente invention concerne un capteur de gaz pour mesurer une concentration de gaz d'analyse basé sur un principe de conductivité thermique, ayant au moins un élément thermique d'analyse disposé sur une première membrane pour chauffer le gaz d'analyse, un élément thermique de référence disposé sur une seconde membrane, au moins un circuit électronique d'évaluation pour mesurer une modification de résistance de l'élément thermique d'analyse provoquée par le gaz d'analyse par rapport à une résistance électrique de l'élément thermique de référence, la première membrane et la seconde membrane étant situées dans un substrat de capteur de manière adjacente l'une à l'autre et, à l'aide d'un substrat socle situé d'un côté sur le substrat de capteur entre la première membrane et le substrat socle, un volume de mesure et, entre la seconde membrane et le substrat socle, un volume de référence peut se former.
(DE) Offenbart ist ein Gassensor zum Messen einer Konzentration eines Analysegases basierend auf einem Wärmeleitfähigkeitsprinzip, mit mindestens einem auf einer ersten Membran angeordneten Analyseheizelement zum Erwärmen des Analysegases, mit einem auf einer zweiten Membran angeordneten Referenzheizelement zum Erwärmen eines Referenzgases, mit mindestens einer Auswerteelektronik zum Messen einer durch das Analysegas verursachten Widerstandsänderung des Analyseheizelementes relativ zu einem elektrischen Widerstand des Referenzheizelementes, wobei die erste Membran und die zweite Membran zueinander benachbart in einem Sensorsubstrat angeordnet sind und wobei durch ein einseitig an dem Sensorsubstrat angeordnetes Sockelsubstrat zwischen der ersten Membran und dem Sockelsubstrat ein Messvolumen und zwischen der zweiten Membran und dem Sockelsubstrat ein Referenzvolumen bildbar ist.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)