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1. (WO2019046631) GLASSY CARBON PROBE AND MICROFABRICATION METHOD
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Veröff.-Nr.: WO/2019/046631 Internationale Anmeldenummer PCT/US2018/048938
Veröffentlichungsdatum: 07.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 30.08.2018
IPC:
A61B 5/02 (2006.01) ,A61B 5/0492 (2006.01) ,A61B 17/74 (2006.01) ,G01R 1/06 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01) ,H01L 21/768 (2006.01)
A Täglicher Lebensbedarf
61
Medizin oder Tiermedizin; Hygiene
B
Diagnostik; Chirurgie; Identifizierung
5
Messen zu diagnostischen Zwecken; Identifizieren von Personen
02
Messen des Pulses, des Herzschlages, des Blutdruckes oder der Blutströmung; kombiniertes Bestimmen von Puls, Herzschlag und Blutdruck; Auswerten des Zustandes der Herzgefäße, soweit nicht anderweitig vorgesehen, z.B. Anwenden von Kombinationen technischer Verfahren, die in dieser Gruppe vorgesehen sind, mit Elektrokardiografie; Herzkatheter für Blutdruckmessung
A Täglicher Lebensbedarf
61
Medizin oder Tiermedizin; Hygiene
B
Diagnostik; Chirurgie; Identifizierung
5
Messen zu diagnostischen Zwecken; Identifizieren von Personen
04
Messen bioelektrischer Signale des Körpers oder von Teilen desselben
0488
Elektromyografie
0492
Elektroden, besonders dafür ausgebildet, z.B. Nadelelektroden
A Täglicher Lebensbedarf
61
Medizin oder Tiermedizin; Hygiene
B
Diagnostik; Chirurgie; Identifizierung
17
Chirurgische Instrumente, Vorrichtungen oder Verfahren, z.B. Aderpressen
56
Chirurgische Instrumente oder Verfahren zur Behandlung von Knochen oder Gelenken; besonders angepasste Vorrichtungen hierfür
58
für Osteosynthese, z.B. Knochenplatten, Schrauben oder dgl.
68
Vorrichtungen zur internen Fixierung
74
Vorrichtungen für den Femurkopf
G Physik
01
Messen; Prüfen
R
Messen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
1
Einzelheiten von Instrumenten oder Anordnungen der von den Gruppen G01R5/-G01R13/118
02
Allgemeine bauliche Einzelheiten
06
Messleitungen; Messsonden
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
02
Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Teilen davon
04
Bauelemente mit mindestens einer Potenzialsprung-Sperrschicht oder Oberflächensperrschicht, z.B. PN-Übergang, Verarmungsschicht, Anreicherungsschicht
18
Bauelemente mit Halbleiterkörpern aus Elementen der Gruppe IV des Periodensystems oder AIIIBV-Verbindungen mit oder ohne Fremdstoffe, z.B. Dotierungsmaterialien
30
Behandlung von Halbleiterkörpern unter Verwendung von Verfahren oder Vorrichtungen, soweit nicht von H01L21/20-H01L21/26152
31
zur Bildung isolierender Schichten auf Halbleiterkörpern, z.B. für Maskierungszwecke oder bei Verwendung fotolithografischer Techniken; Nachbehandlung dieser Schichten; Auswahl von Materalien für diese Schichten
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
70
Herstellung oder Behandlung von Bauelementanordnungen bestehend aus einer Vielzahl von einzelnen Schaltungselementen oder integrierten Schaltungen, die in oder auf einem gemeinsamen Substrat ausgebildet sind, oder von bestimmten Teilen hiervon; Herstellung von integrierten Schaltungsanordnungen oder von bestimmten Teilen hiervon
71
Herstellung von bestimmten Teilen der in Gruppe H01L21/7075
768
Anbringen von Verbindungsleitungen, die zur Stromführung zwischen einzelnen Schaltungselementen innerhalb eines Bauelements dienen
Anmelder:
SAN DIEGO STATE UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION [US/US]; 5500 Campanile Drive SSE 1410B San Diego, CA 92182-8220, US
Erfinder:
KASSEGNE, Sanuel, K.; US
NIMBALKAR, Surabhi; US
BALASUBRAMANI, Arvind; US
Vertreter:
MATHEWS, Glen, T.; US
LISA, Adams; US
AZRIN, Linda, B.; US
AMENDT, Kevin, C.; US
BAUER, John, A.; US
Prioritätsdaten:
62/552,30430.08.2017US
Titel (EN) GLASSY CARBON PROBE AND MICROFABRICATION METHOD
(FR) SONDE EN CARBONE VITREUX ET PROCÉDÉ DE MICROFABRICATION
Zusammenfassung:
(EN) A probe device is disclosed that includes one or more insulating layers and a glassy carbon layer. The glassy carbon layer includes one or more channels. Each channel includes a microstructure, which may include an electrode region, interconnect region, and bump pad region. The electrode region may be placed in contact with a human or animal patient or test subject and used to collect or deliver signals in applications such as electrocorticography (ECoG), electromyography (EMG), and neural stimulation. A method of making a probe includes depositing a glassy carbon precursor on a substrate, patterning the precursor using photolithography, pyrolyzing the precursor to allow the formation of glassy carbon, and depositing one or more insulating layers.
(FR) L'invention concerne un dispositif sonde qui comprend une ou plusieurs couches isolantes et une couche de carbone vitreux. La couche de carbone vitreux comprend un ou plusieurs canaux. Chaque canal comprend une microstructure, qui peut comprendre une région d'électrode, une région d'interconnexion et une région de plot en bosse. La région d'électrode peut être placée en contact avec un patient humain ou animal ou un sujet de test et utilisée pour collecter ou délivrer des signaux dans des applications telles que l'électrocorticographie (ECoG), l'électromyographie (EMG) et la stimulation neuronale. Un procédé de fabrication d'une sonde comprend le dépôt d'un précurseur de carbone vitreux sur un substrat, la formation de motifs du précurseur à l'aide de la photolithographie, la pyrolyse du précurseur pour permettre la formation de carbone vitreux, et le dépôt d'une ou de plusieurs couches isolantes.
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African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)