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1. (WO2019046141) TRAINING A LEARNING BASED DEFECT CLASSIFIER
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Veröff.-Nr.: WO/2019/046141 Internationale Anmeldenummer PCT/US2018/048042
Veröffentlichungsdatum: 07.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 27.08.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
66
Prüfen oder Messen während der Herstellung oder Behandlung
Anmelder:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Erfinder:
BRAUER, Bjorn; US
Vertreter:
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Prioritätsdaten:
16/109,63122.08.2018US
62/553,35101.09.2017US
Titel (EN) TRAINING A LEARNING BASED DEFECT CLASSIFIER
(FR) FORMATION D'UN CLASSIFICATEUR DE DÉFAUTS BASÉ SUR L'APPRENTISSAGE
Zusammenfassung:
(EN) Methods and systems for training a learning based defect classifier are provided. One method includes training a learning based defect classifier with a training set of defects that includes identified defects of interest (DOIs) and identified nuisances. The DOIs and nuisances in the training set include DOIs and nuisances identified on at least one training wafer and at least one inspection wafer. The at least one training wafer is known to have an abnormally high defectivity and the at least one inspection wafer is expected to have normal defectivity.
(FR) La présente invention concerne des procédés et des systèmes pour la formation d'un classificateur de défauts basé sur l'apprentissage. Un procédé comprend la formation d'un classificateur de défauts basé sur l'apprentissage avec un ensemble de formation de défauts qui comprend des défauts d'intérêt (DOI) identifiés et des nuisances identifiées. Les DOI et les nuisances dans l'ensemble de formation comprennent des DOI et des nuisances identifiés sur au moins une plaquette de formation et au moins une tranche d'inspection. L'une ou les plaquettes de formation sont connues pour avoir une défectivité anormalement élevée et l'une ou les plaquettes d'inspection sont censées avoir une défectivité normale.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)