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1. (WO2019045204) BOAT DEVICE
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Veröff.-Nr.: WO/2019/045204 Internationale Anmeldenummer PCT/KR2018/001323
Veröffentlichungsdatum: 07.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 31.01.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,H01L 31/18 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
673
unter Verwendung besonders ausgebildeter Trägersysteme
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
31
Halbleiterbauelemente, die auf Infrarot-Strahlung, Licht, elektromagnetische Strahlung kürzerer Wellenlänge als Licht oder Korpuskularstrahlung ansprechen und besonders ausgebildet sind, entweder für die Umwandlung der Energie einer derartigen Strahlung in elektrische Energie oder für die Steuerung elektrischer Energie durch eine derartige Strahlung eingerichtet sind; Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Halbleiterbauelemente oder Teilen davon; Einzelheiten dieser Bauelemente
18
Verfahren oder Vorrichtungen, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung dieser Bauelemente oder Teilen davon
Anmelder:
HANWHA CORPORATION [KR/KR]; 86, Cheonggyecheon-ro Jung-gu Seoul 04541, KR
Erfinder:
LEE, Hyun Ho; KR
KIM, Young Gi; KR
PARK, Sang Tae; KR
Vertreter:
TW INTERNATIONAL PATENT AND LAWFIRM; 13F 114, Yeoksam-ro Gangnam-gu Seoul 06252, KR
Prioritätsdaten:
10-2017-011203901.09.2017KR
Titel (EN) BOAT DEVICE
(FR) HYDROGLISSEUR
Zusammenfassung:
(EN) The present invention discloses a boat device, comprising: a plate portion including mutually adjacent first and second plates, where a wafer is attached and detached in an empty gap between each plate; and a pin provided at each plate to support an outside of the wafer; wherein the pin is provided with at least three pins including a first pin, a second pin and a third pin relative to one wafer.
(FR) La présente invention concerne un hydroglisseur, comprenant : une partie plaque comprenant des première et seconde plaques mutuellement adjacentes, une tranche étant fixée et détachée dans un espace vide entre chaque plaque ; et une broche disposée au niveau de chaque plaque pour supporter un extérieur de la tranche ; la broche comprenant au moins trois broches comprenant une première broche, une seconde broche et une troisième broche par rapport à une tranche.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)