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1. (WO2019043947) ETCHING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE
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Veröff.-Nr.: WO/2019/043947 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2017/031799
Veröffentlichungsdatum: 07.03.2019 Internationales Anmeldedatum: 04.09.2017
IPC:
H05B 33/10 (2006.01) ,H01L 27/32 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01) ,H05B 33/02 (2006.01)
H Elektrotechnik
05
Elektrotechnik, soweit nicht anderweitig vorgesehen
B
Elektrische Heizung; elektrische Beleuchtung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
33
Elektrolumineszierende Lichtquellen
10
Geräte oder Verfahren, die in besonderer Weise für die Herstellung von elektrolumineszierenden Lichtquellen ausgebildet sind
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
27
Bauelemente, die aus einer Mehrzahl von in oder auf einem gemeinsamen Substrat ausgebildeten Halbleiter- oder anderen Festkörperschaltungselementen bestehen [integrierte Schaltungen]
28
mit Schaltungselementen, die organische Materialien oder eine Kombination von organischen Materialien mit anderen Materialien als aktives Medium aufweisen
32
mit Schaltungselementen, besonders ausgebildet zur Lichtemission, z.B. Flachbildschirme mit organischen LED
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
51
Festkörperbauelemente, die organische Materialien oder eine Kombination von organischen mit anderen Materialien als aktives Medium aufweisen; Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von derartigen Bauelementen oder Teilen davon
50
besonders ausgebildet zur Lichtemission, z.B. organische lichtemittierende Dioden (OLED) oder polymere lichtemittierende Bauelemente (PLED)
H Elektrotechnik
05
Elektrotechnik, soweit nicht anderweitig vorgesehen
B
Elektrische Heizung; elektrische Beleuchtung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
33
Elektrolumineszierende Lichtquellen
02
Einzelheiten
Anmelder:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
Erfinder:
谷山 博己 TANIYAMA, Hiroki; --
岡部 達 OKABE, Tohru; --
齋田 信介 SAIDA, Shinsuke; --
市川 伸治 ICHIKAWA, Shinji; --
郡司 遼佑 GUNJI, Ryosuke; --
仲田 芳浩 NAKADA, Yoshihiro; --
井上 彬 INOUE, Akira; --
神村 浩治 JINMURA, Hiroharu; --
Vertreter:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
Prioritätsdaten:
Titel (EN) ETCHING DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GRAVURE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE
(JA) エッチング装置、および表示装置の製造方法
Zusammenfassung:
(EN) An etching device (1) is provided with: a chemical treatment tank (20), in which a substrate (2) is transferred; and a jetting section (21), which is disposed in the chemical treatment tank (20), and which has a blowout port (22) facing the direction not intersecting the surface of the substrate (2), said jetting section jetting a mist-like etchant chemical (22) through the blowout port (22).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de gravure qui est pourvu : d'un réservoir de traitement chimique (20), dans lequel un substrat (2) est transféré ; et d'une section de projection (21), qui est disposée dans le réservoir de traitement chimique (20), et qui a un orifice de soufflage (22) faisant face à la direction ne croisant pas la surface du substrat (2), ladite section de projection projetant un produit chimique d'agent de gravure de type brume (22) à travers l'orifice de soufflage (22).
(JA) エッチング装置(1)は、内部で基板(2)が搬送される薬液処理槽(20)と、薬液処理槽(20)の内部に配置され、基板(2)の表面と交わらない方向に向く吹き出し口(22)を有し、かつ吹き出し口(22)を通じて霧状のエッチャント薬液(22)を噴射する噴射部(21)とを備えている。
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)