Einige Inhalte dieser Anwendung sind momentan nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (WO2019034728) VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN TEMPERATUREMPFINDLICHER SUBSTRATE MIT POLYKRISTALLINEM DIAMANT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten    Einwendung einreichen

Veröff.-Nr.: WO/2019/034728 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/072193
Veröffentlichungsdatum: 21.02.2019 Internationales Anmeldedatum: 16.08.2018
IPC:
C23C 16/27 (2006.01) ,C23C 16/46 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
16
Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase [chemical vapour deposition = CVD]
22
gekennzeichnet durch das Abscheiden anderer anorganischer Stoffe als metallischer Stoffe
26
Alleiniges Abscheiden von Kohlenstoff
27
nur Diamant
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
16
Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase [chemical vapour deposition = CVD]
44
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
46
gekennzeichnet durch das Verfahren zum Erhitzen des Substrats
Anmelder:
GÜHRING KG [DE/DE]; Herderstraße 50-54 72458 Albstadt, DE
Erfinder:
GARRN, Immo; DE
Vertreter:
WINTER BRANDL FÜRNISS HÜBNER RÖSS KAISER POLTE - PARTNERSCHAFT MBB; Alois-Steinecker-Str. 22 85354 Freising, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 214 432.718.08.2017DE
10 2017 217 464.129.09.2017DE
Titel (EN) METHOD FOR COATING TEMPERATURE-SENSITIVE SUBSTRATES WITH POLYCRYSTALLINE DIAMOND
(FR) PROCÉDÉ POUR RECOUVRIR DES SUBSTRATS THERMOSENSIBLES DE DIAMANT POLYCRISTALLIN
(DE) VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN TEMPERATUREMPFINDLICHER SUBSTRATE MIT POLYKRISTALLINEM DIAMANT
Zusammenfassung:
(EN) The present invention relates to a method for coating temperature-sensitive substrates with polycrystalline diamond by means of a hot-wire CVD method, in which hydrogen and at least one carbon carrier gas are fed into a coating chamber. The fed gases are split at an electrically heated wire in such a way that carbon is formed and deposits on the temperature-sensitive substrate in the form of the diamond modification thereof. The substrate is arranged in the coating chamber, which is at a reduced pressure, and an electrical power necessary to electrically heat the wire is adjustable. The method is performed cyclically in respect of the electrical power that is fed in order to electrically heat the wire. A basic power is fed as lower threshold value for a predetermined time (basic load phase) and is increased for a further predetermined time to a maximum power as an upper threshold value (pulse phase) and is then reduced again to the basic power. The method is performed for a total duration lasting a number of hours.
(FR) La présente invention concerne un procédé pour recouvrir des substrats thermosensibles de diamant polycristallin dans un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à filament chaud, de l'hydrogène et au moins un gaz porteur carboné étant injectés dans une chambre de revêtement, les gaz injectés se décomposant sur un filament électriquement chauffé, de manière à former du carbone qui précipite sur le substrat thermosensible sous la forme de sa modification en diamant, le substrat étant placé dans la chambre de revêtement sous pression réduite ; et un courant électrique, nécessaire pour chauffer électriquement le filament, pouvant être réglé. Le procédé est réalisé de manière cyclique en fonction du courant électrique injecté pour chauffer électriquement le filament, un courant de base étant injecté pendant une période prédéterminée en tant que valeur de seuil inférieure (phase de charge de base), lequel courant étant élevé à une puissance maximale pendant une autre période prédéterminée en tant que valeur de seuil supérieure (phase d'impulsion) pour ensuite redescendre au niveau du courant de base ; et le procédé est réalisé sur une durée totale de plusieurs heures.
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten temperaturempfindlicher Substrate mit polykristallinem Diamant in einem Heißdraht-CVD-Verfahren, wobei Wasserstoff und wenigstens ein Kohlenstoffträgergas in eine Beschichtungskammer eingespeist werden, wobei sich die eingespeisten Gase an einem elektrisch beheizten Draht derart aufspalten, dass sich Kohlenstoff bildet, welcher sich auf dem temperaturempfindlichen Substrat in Form seiner Diamantmodifikation abscheidet, wobei das Substrat in der unter vermindertem Druck stehenden Beschichtungskammer angeordnet ist; und wobei eine zur elektrischen Beheizung des Drahtes erforderliche elektrische Leistung einstellbar ist, wobei das Verfahren hinsichtlich der zur elektrischen Beheizung des Drahtes eingespeisten elektrischen Leistung zyklisch geführt wird, wobei eine Basisleistung als unterer Schwellwert für eine vorbestimmte Zeit eingespeist wird (Grundlastphase), welche für eine weitere vorbestimmte Zeit auf eine Maximalleistung als oberen Schwellwert angehoben wird (Pulsphase) und dann wieder auf die Basisleistung abgesenkt wird; und wobei das Verfahren für eine Gesamtdauer von mehreren Stunden durchgeführt wird.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)