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1. (WO2019034574) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ULTRADÜNNER SCHICHTEN AUF SUBSTRATEN
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Veröff.-Nr.: WO/2019/034574 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/071859
Veröffentlichungsdatum: 21.02.2019 Internationales Anmeldedatum: 13.08.2018
IPC:
C23C 26/02 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
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Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
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Beschichten, soweit nicht in den Gruppen C23C2/-C23C24/92
02
Aufbringen geschmolzenen Materials auf das Substrat
Anmelder:
UNIVERSITÄT GREIFSWALD [DE/DE]; Domstrasse 11 17487 Greifswald, DE
Erfinder:
RUNDE, Sebastian; DE
AHRENS, Heiko; DE
HELM, Christiane A.; DE
Vertreter:
ETL WABLAT & KOLLEGEN PATENT- UND RECHTSANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Potsdamer Chaussee 48 14129 Berlin, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 118 471.614.08.2017DE
Titel (EN) METHOD FOR PRODUCING ULTRA-THIN LAYERS ON SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE COUCHES ULTRAMINCES SUR DES SUBSTRATS
(DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ULTRADÜNNER SCHICHTEN AUF SUBSTRATEN
Zusammenfassung:
(EN) A method is proposed for producing ultra-thin layers consisting of metal/metal oxides/metal hydroxides on substrates (1) by utilizing the properties of the starting materials. Different building-up possibilities are proposed with regard to the number of layers, the sequence of layers, the material composition and the thickness of the individual layers. The method makes it possible to build up layer systems of which the boundary and surface roughnesses are less than those of the substrate used.
(FR) L'invention concerne un procédé pour la réalisation de couches ultraminces, constituées par un métal/des oxydes métalliques/des hydroxydes métalliques, sur des substrats (1) tout en exploitant les propriétés des substances de départ. L'invention porte sur différentes possibilités de construction en ce qui concerne le nombre de couches, la succession des couches, la composition matérielle ainsi que les différentes épaisseurs des couches. Le procédé permet la construction de systèmes à couches, dont les rugosités des limites et de surfaces sont inférieures à celle des substrats utilisés.
(DE) Es wird ein Verfahren zur Herstellung ultradünner aus Metall/Metalloxiden/Metallhydroxiden bestehender Schichten auf Substraten (1) unter Ausnutzung der Eigenschaften der Ausgangsstoffe vorgeschlagen. Es werden unterschiedliche Aufbaumöglichkeiten im Hinblick auf Schichtzahl, Schichtabfolge, materielle Zusammensetzung sowie einzelner Schichtdicken vorgeschlagen. Das Verfahren ermöglicht den Aufbau von Schichtsystemen,dessen Grenz-und Oberflächenrauigkeiten geringer sind als die des verwendeten Substrats.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)