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1. (WO2019034401) DICHTUNGSANORDNUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2019/034401 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/070625
Veröffentlichungsdatum: 21.02.2019 Internationales Anmeldedatum: 30.07.2018
IPC:
F16K 51/02 (2006.01) ,F16K 1/46 (2006.01) ,F16K 31/122 (2006.01) ,F16K 1/36 (2006.01) ,F16J 15/02 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16
Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
K
Ventile; Schieber; Hähne; Schwimmer; Entlüftungs- oder Belüftungsvorrichtungen
51
Andere Einzelheiten, die nicht auf Sonderbauarten von Ventilen oder Absperrvorrichtungen eingeschränkt sind
02
speziell geeignet für Hochvakuum-Einrichtungen
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16
Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
K
Ventile; Schieber; Hähne; Schwimmer; Entlüftungs- oder Belüftungsvorrichtungen
1
Hubventile, d.h. Absperrvorrichtungen mit Verschlussteilen, bei denen wenigstens eine Komponente ihrer Öffnungs- und Schließbewegung senkrecht zu den Abschlussflächen gerichtet ist
32
Einzelheiten
34
Absperrteile
46
Befestigung der Dichtungsringe
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16
Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
K
Ventile; Schieber; Hähne; Schwimmer; Entlüftungs- oder Belüftungsvorrichtungen
31
Betätigungsvorrichtungen; Auslösevorrichtungen
12
druckmittel- oder schwimmerbetätigt
122
mit Einwirkung des Druckmittels auf einen Kolben
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16
Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
K
Ventile; Schieber; Hähne; Schwimmer; Entlüftungs- oder Belüftungsvorrichtungen
1
Hubventile, d.h. Absperrvorrichtungen mit Verschlussteilen, bei denen wenigstens eine Komponente ihrer Öffnungs- und Schließbewegung senkrecht zu den Abschlussflächen gerichtet ist
32
Einzelheiten
34
Absperrteile
36
Ventilteile
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16
Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
J
Kolben; Zylinder; Druckbehälter allgemein; Abdichtungen, Dichtungen
15
Abdichtungen, Dichtungen
02
zwischen ruhend aufeinanderliegenden Oberflächen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
Anmelder:
VAT HOLDING AG [CH/CH]; Seelistrasse 9469 Haag, CH
Erfinder:
SANDEK, Marco; CH
ZICKAR, Michael; CH
Vertreter:
HOFMANN, Ralf; AT
FECHNER, Thomas; AT
Prioritätsdaten:
A 331/201716.08.2017AT
Titel (EN) SEAL ARRANGEMENT
(FR) SYSTÈME D'ÉTANCHÉITÉ
(DE) DICHTUNGSANORDNUNG
Zusammenfassung:
(EN) In a seal arrangement for sealing first and second components (1, 2) of a vacuum device in relation to one another by means of an elastomeric sealing material (5), which is arranged on one of the two components (1, 2) and interacts with a sealing surface (7) arranged on the other of the two components (1, 2), it is the case that, in a sealed state of the first and second components (1, 2), the first component (1) has been pushed onto the second component (2) by way of a pushing-on force which acts in a pushing-on direction (8). The first component (1) has a carrying portion (3) and a bent portion (4), wherein the elastomeric sealing material (5) is arranged on the bent portion (4) and the sealing surface is arranged on the second component (2), or the sealing surface (7) is arranged on the bent portion (4) and the elastomeric sealing material (5) is arranged on the second component (2). In the case of the elastomeric sealing material (5) being arranged on the bent portion (4), the thickness (d) of the bent portion (4), without account being taken of the elastomeric sealing material (5), is less than one third of the thickness (D) of the carrying portion (3) and less than one fifth of the length of the bent portion. The bent portion (4) is formed in one piece with the carrying portion (3) and the elastomeric sealing material (5) has a maximum thickness (e) of less than 0.8 mm.
(FR) L'invention concerne un système d'étanchéité destiné à rendre mutuellement étanches de premières et de secondes pièces (1, 2) d'un dispositif de mise sous vide au moyen d'un matériau d'étanchéité (5) élastomère disposé sur une des deux pièces (1, 2), ledit matériau d'étanchéité coopérant avec une surface d'étanchéité (7) agencée sur l'autre des deux pièces (1, 2). A l'état étanche de la première et de la seconde pièce (1, 2), la première pièce (1) est plaquée sur la seconde pièce (2) avec une force d'application s'exerçant dans une direction d'application (8). La première pièce (1) présente une partie support (3) et une partie de flexion (4), le matériau d’étanchéité (5) élastomère étant agencé sur la partie de flexion (4) et la surface d’étanchéité étant agencée sur la seconde pièce (2) ou ladite surface d’étanchéité (7) étant agencée sur la partie de flexion (4) et le matériau d’étanchéité (5) élastomère étant agencé sur la seconde pièce (2). L’épaisseur (d) de la partie de flexion (4), en cas d’agencement du matériau d’étanchéité (5) élastomère sur la partie de flexion (4) sans tenir compte du matériau d’étanchéité (5) élastomère, représente moins d’un tiers de l’épaisseur (D) de la partie support (3) et moins d’un cinquième de la longueur de la partie de flexion. La partie de flexion (4) est réalisée d’un seul tenant avec la partie support (3) et le matériau d’étanchéité (5) élastomère présente une épaisseur (e) maximale inférieure à 0,8 mm.
(DE) Bei einer Dichtungsanordnung zum gegenseitigen Abdichten von ersten und zweiten Bauteilen (1, 2) einer Vakuumeinrichtung mittels eines an einem der beiden Bauteile (1, 2) angeordneten elastomeren Dichtmaterials (5), welches mit einer am anderen der beiden Bauteile (1, 2) angeordneten Dichtfläche (7) zusammenwirkt, ist in einem abgedichteten Zustand des ersten und zweiten Bauteils (1, 2) das erste Bauteil (1) mit einer in eine Andrückrichtung (8) wirkenden Andrückkraft an das zweite Bauteil (2) angedrückt. Das erste Bauteil (1) weist einen Tragabschnitt (3) und einen Biegeabschnitt (4) auf, wobei das elastomere Dichtmaterial (5) am Biegeabschnitt (4) und die Dichtfläche am zweiten Bauteil (2) angeordnet ist oder die Dichtfläche (7) am Biegeabschnitt (4) und das elastomere Dichtmaterial (5) am zweiten Bauteil (2) angeordnet ist. Die Dicke (d) des Biegeabschnitts (4), im Falle der Anordnung des elastomeren Dichtmaterials (5) am Biegeabschnitt (4) ohne Berücksichtigung des elastomeren Dichtmaterials (5), beträgt weniger als ein Drittel der Dicke (D) des Tragabschnitts (3) und weniger als ein Fünftel der Länge des Biegeabschnitts. Der Biegeabschnitt (4) ist einteilig mit dem Tragabschnitt (3) ausgebildet und das elastomere Dichtmaterial (5) weist eine maximale Dicke (e) von weniger als 0,8 mm auf.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)