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1. (WO2019028254) METHOD AND SYSTEM FOR MOVING A SUBSTRATE
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Veröff.-Nr.: WO/2019/028254 Internationale Anmeldenummer PCT/US2018/045010
Veröffentlichungsdatum: 07.02.2019 Internationales Anmeldedatum: 02.08.2018
IPC:
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
68
zum Positionieren, Orientieren oder Justieren
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683
zum Aufnehmen oder Greifen
687
mit mechanischen Mitteln, z.B. Halte-, Klemm- oder Pressvorrichtungen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
66
Prüfen oder Messen während der Herstellung oder Behandlung
Anmelder:
APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD. [IL/IL]; 9 Oppenheimer Street 76705 Rehovot, IL
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Erfinder:
ADAN, Ofer; IL
AVNERI, Israel; IL
UZIEL, Yoram; IL
KRIVTS (KRAYVITZ), Igor; IL
KHASGIWALE, Niranjan Ramchandra; US
Vertreter:
CATMULL, Kelvin B.; US
Prioritätsdaten:
15/668,51703.08.2017US
Titel (EN) METHOD AND SYSTEM FOR MOVING A SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR DÉPLACER UN SUBSTRAT
Zusammenfassung:
(EN) A method and a system for moving a substrate, the system includes a chamber, a chuck, a movement system that is positioned outside the chamber, a controller, an intermediate element, at least one sealing element that is configured to form a dynamic seal between the intermediate element and the chamber housing. The movement system is configured to repeat, for each region of the substrate out of a plurality of regions of the substrate, the steps of: rotating the chuck to position a given portion of the region of the substrate within a field of view that is related to an opening of the chamber housing; and moving the chuck relation to the opening to position additional portions of the region of the substrate within the field of view that is related to the opening.
(FR) L'invention concerne un procédé et un système pour déplacer un substrat, le système comprenant une chambre, un mandrin, un système de déplacement qui est positionné à l'extérieur de la chambre, un dispositif de commande, un élément intermédiaire, au moins un élément d'étanchéité qui est conçu pour former un joint d'étanchéité dynamique entre l'élément intermédiaire et le boîtier de chambre. Le système de mouvement est configuré pour répéter, pour chaque région du substrat sur une pluralité de régions du substrat, les étapes consistant à : faire tourner le mandrin pour positionner une partie donnée de la région du substrat dans un champ de vision qui est associé à une ouverture du boîtier de chambre ; et à déplacer la relation de mandrin par rapport à l'ouverture pour positionner des parties supplémentaires de la région du substrat dans le champ de vision qui est associé à l'ouverture.
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Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)