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1. (WO2019025564) MUSTERBASIERTE GASQUALITÄTSÜBERWACHUNG MITTELS RAMAN-SPEKTROSKOPIE
Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

Patentansprüche

Verfahren zur Gasqualitätsüberwachung, umfassend:

- spektroskopische Untersuchung einer Gasprobe aus einem zu überwachenden Raum, wobei die spektroskopische Untersuchung ein sich über einen Wellenlängenbereich erstreckendes Messspektrum (200; 310, 320; 410, 420; 510, 520, 610, 620) liefert;

- Erfassen einer Abweichung des Messspektrums (200; 310, 320; 410, 420; 510, 520, 610, 620) von wenigstens einem Vergleichsmuster (160); und

- abhängig von der erfassten Abweichung, Erzeugen einer Gasqualitätswarnung (QW).

Verfahren nach Anspruch 1 , umfassend:

- Erfassen wenigstens eines Umgebungsparameters des zu überwachenden Raums (10); und

- Auswählen des wenigstens einen Vergleichsmusters (160) abhängig von dem erfassten wenigstens einen Umgebungsparameter.

Verfahren nach Anspruch 2,

wobei der wenigstens eine Umgebungsparameter eine Temperatur, einen Druck und/oder einen Feuchtigkeitsgehalt umfasst.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, umfassend:

- Erfassen der Abweichung durch einen Vergleich einer wellenlängenabhängigen

Intensität des Messspektrums (310, 320; 410, 420) mit wenigstens einer von dem

Vergleichsmuster (160) definierten Vergleichsintensität (301 , 302, 303, 304; 401 , 402).

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, umfassend:

- Darstellen des Messspektrums (510, 520, 610, 620) in Form eines Bildes, welches abhängig von einer wellenlängenabhängigen Intensität in einen ersten Bereich und einen zweiten Bereich unterteilt ist; und

- Erfassen der Abweichung durch Erfassen eines Überlapps des ersten Bereichs und/oder des zweiten Bereichs mit wenigstens einem von dem Vergleichsmuster (160) definierten Vergleichsbereich (501 , 502, 503; 601 ).

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, umfassend:

- Erfassen einer Stärke der Abweichung; und

- Erzeugen der Gasqualitätswarnung (QW) abhängig von der erfassten Stärke der Abweichung.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei das wenigstens eine Vergleichsmuster (160) gemeinsame Eigenschaften von als unauffällig eingestuften Messspektren beschreibt.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei die spektroskopische Untersuchung der Gasprobe durch Raman-Spektroskopie erfolgt.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, umfassend:

- Bestimmen des wenigstens einen Vergleichsmusters durch Trainieren eines

maschinenbasierten Lernalgorithmus.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, umfassend:

- abhängig von der erzeugten Gasqualitätswarnung (QW), Steuern einer Vorrichtung zur Beförderung von Gas in den zu überwachenden Raum und/oder aus dem zu

überwachenden Raum (10).

Verfahren nach Anspruch 10,

wobei die Vorrichtung eine Belüftungsanlage (850) umfasst und der zu überwachende Raum sich in einem Luftzufuhrabschnitt (870) der Belüftungsanlage (850) oder in einem über die Belüftungsanlage (850) zu belüftenden Raum (810) befindet.

Verfahren nach Anspruch 10,

wobei die Vorrichtung eine Prozessanlage (900) umfasst und der zu überwachende Raum sich einem Zufuhrabschnitt (941 , 942) für ein in der Prozessanlage (900) verwendetes Prozessgas befindet oder sich in einem Prozessraum (910) der Prozessanlage (900) befindet.

13. Vorrichtung zur Gasqualitätsüberwachung, umfassend:

eine Spektrometereinnchtung (100) zur spektroskopischen Untersuchung einer Gasprobe aus einem zu überwachenden Raum (10), wobei die spektroskopische Untersuchung ein sich über einen Wellenlängenbereich erstreckendes Messspektrum (200; 310, 320; 410, 420; 510, 520; 610, 620) liefert; und

- eine Auswerteeinrichtung (150), welche dazu ausgestaltet ist:

- eine Abweichung des Messspektrums (200; 310, 320; 410, 420; 510, 520, 610, 620) von wenigstens einem Vergleichsmuster (301 , 302, 303, 304; 401 , 402; 501 , 502, 503; 601 ) zu erfassen; und

- abhängig von der erfassten Abweichung eine Gasqualitätswarnung (QW) zu erzeugen.

Vorrichtung nach Anspruch 13,

wobei die Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 12 ausgestaltet ist.

Belüftungsanlage (850), umfassend:

eine Vorrichtung (860) zur Beförderung von Luft in einen zu belüftenden Raum (810) und/oder aus dem zu belüftenden Raum (810); und

eine Vorrichtung zur Gasqualitätsüberwachung nach Anspruch 12,

wobei der zu überwachende Raum (810) sich in einem Luftzufuhrabschnitt (870) der

Belüftungsanlage (850) oder in dem zu belüftenden Raum (810) befindet, und

die Vorrichtung (860) zur Beförderung von Luft abhängig von der Gasqualitätswarnung gesteuert ist.

Belüftungsanlage nach Anspruch 15,

wobei die Vorrichtung zur Gasqualitätsüberwachung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 9 ausgestaltet ist.

Prozessanlage (900), umfassend:

eine Vorrichtung (941 , 942, 943, 951 , 952, 953, 960) zur Beförderung von Gas in einen Prozessraum (910) der Prozessanlage (900) und/oder aus dem Prozessraum (910) der Prozessanlage (900); und

eine Vorrichtung zur Gasqualitätsüberwachung nach Anspruch 13,

wobei der zu überwachende Raum sich in einem Zufuhrabschnitt (941 , 942) für ein in der Prozessanlage (900) verwendetes Prozessgas befindet oder sich in dem Prozessraum (910) der Prozessanlage (900) befindet, und

die Vorrichtung (941 , 942, 943, 951 , 952, 953, 960) zur Beförderung von Gas abhängig von der Gasqualitätswarnung gesteuert ist.

18. Prozessanlage (900) nach Anspruch 17,

wobei die Vorrichtung zur Gasqualitätsüberwachung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 9 ausgestaltet ist.