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1. (WO2019021860) SENSOR ELEMENT AND ANGULAR VELOCITY SENSOR
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Veröff.-Nr.: WO/2019/021860 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/026503
Veröffentlichungsdatum: 31.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 13.07.2018
IPC:
G01C 19/5621 (2012.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
C
Messen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen; Geodäsie; Navigation; Kreiselgeräte; Fotogrammmetrie oder Videogrammmetrie
19
Kreiselgeräte; drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen; drehempfindliche Vorrichtungen ohne bewegliche Massen; Messen der Winkelgeschwindigkeit unter Benutzung von Kreiseleffekten
56
Drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen, z.B. schwingende Winkelgeschwindigkeitssensoren, die auf Grundlage der Corioliskraft arbeiten
5607
die schwingende Stimmgabeln nutzen
5621
wobei die Anordnungen einen mikromechanischen Aufbau aufweisen
Anmelder:
京セラ株式会社 KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6番地 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501, JP
Erfinder:
副島 宗高 SOEJIMA, Munetaka; JP
Vertreter:
飯島 康弘 IIJIMA, YASUHIRO; 東京都港区西新橋3丁目4番2号 SSビル2階 創進国際特許事務所 Sohshin International Patent Office, SS building 2F, 4-2, Nishi-Shinbashi 3-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003, JP
Prioritätsdaten:
2017-14278024.07.2017JP
Titel (EN) SENSOR ELEMENT AND ANGULAR VELOCITY SENSOR
(FR) ÉLÉMENT DE CAPTEUR ET CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE
(JA) センサ素子および角速度センサ
Zusammenfassung:
(EN) A piezoelectric body of a sensor element includes a driving arm and a detecting arm which extend in the y-axis direction from a base portion. A plurality of excitation electrodes are located on the driving arm in an arrangement capable of causing the driving arm to vibrate in the x-axis direction. A plurality of detecting electrodes are located on the detecting arm in an arrangement capable of detecting a signal generated as a result of a bending deformation of the detecting arm in the z-axis direction. The piezoelectric body has anisotropy causing torsional deformation of the driving arm when the driving arm vibrates in the x-axis direction. The orientation of the torsional deformation when the driving arm bends toward the +x side is an orientation that cause flexing of the base portion whereby a position at which the base portion is linked to the detecting arm is displaced to one side in the z-axis direction. The shape of a cross section through the driving arm, orthogonal to the y-axis direction, is a shape whereby a bending stiffness toward the +x side and toward the other side in the z-axis direction is smaller than the bending stiffness toward the +x side and toward said one side in the z-axis direction.
(FR) L'invention concerne un corps piézoélectrique d'un élément de capteur comprenant un bras d'entraînement et un bras de détection qui s'étendent dans la direction de l'axe y à partir d'une partie de base. Une pluralité d'électrodes d'excitation sont situées sur le bras d'entraînement dans un agencement permettant de faire vibrer le bras d'entraînement dans la direction de l'axe x. La pluralité d'électrodes de détection sont situées sur le bras de détection dans un agencement permettant de détecter un signal généré en réponse à une déformation de courbure du bras de détection dans la direction de l'axe z. Le corps piézoélectrique présente une anisotropie provoquant une déformation en torsion du bras d'entraînement lorsque le bras d'entraînement vibre dans la direction de l'axe x. L'orientation de la déformation en torsion lorsque le bras d'entraînement se courbe vers le côté +x constitue une orientation qui provoque la flexion de la partie de base grâce à laquelle une position à laquelle la partie de base est reliée au bras de détection est déplacée vers un côté dans la direction de l'axe z. La forme d'une section transversale à travers le bras d'entraînement, orthogonale à la direction de l'axe y, constitue une forme grâce à laquelle une rigidité à la courbure vers le côté +x et vers l'autre côté dans la direction de l'axe z est inférieure à la rigidité à la courbure vers le côté +x et vers ledit côté dans la direction de l'axe z.
(JA) センサ素子の圧電体は、基部からy軸方向に延びている駆動腕および検出腕を有している。複数の励振電極は、駆動腕をx軸方向に振動させることが可能な配置で駆動腕に位置している。複数の検出電極は、検出腕のz軸方向における曲げ変形により生じる信号を検出可能な配置で検出腕に位置している。圧電体は、駆動腕がx軸方向に振動したときに駆動腕に捩り変形を生じさせる異方性を有している。駆動腕が+x側に曲がったときの捩り変形の向きは、基部の検出腕との連結位置がz軸方向の一方側へ変位する基部の撓みを生じさせる向きである。駆動腕のy軸方向に直交する断面の形状は、+x側かつz軸方向の他方側への曲げ剛性が、+x側かつz軸方向の前記一方側への曲げ剛性よりも小さくなる形状である。
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Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)