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1. (WO2019020800) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN OBERFLÄCHENMESSUNG MIT HILFE EINES KONFOKALEN SENSORS
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Veröff.-Nr.: WO/2019/020800 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/070439
Veröffentlichungsdatum: 31.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 27.07.2018
IPC:
G01B 11/24 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
24
zum Messen von Umrisslinien oder Krümmungen
Anmelder:
NANOFOCUS AG [DE/DE]; Max-Planck-Ring 48 46049 Oberhausen, DE
Erfinder:
FRANK, Johannes; DE
JAKOB, Gerd; DE
Vertreter:
SCHNEIDERS & BEHRENDT PARTMBB; Huestr. 23 44787 Bochum, DE
ISFORT, Olaf; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 116 993.827.07.2017DE
10 2017 130 211.515.12.2017DE
Titel (EN) METHOD AND DEVICE FOR OPTICAL SURFACE MEASUREMENT BY MEANS OF A CONFOCAL SENSOR
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE DE SURFACES AU MOYEN D'UN CAPTEUR CONFOCAL
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN OBERFLÄCHENMESSUNG MIT HILFE EINES KONFOKALEN SENSORS
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a method and a device for the optical measurement of technical surfaces by means of a confocal sensor, where light from a light source (2) is directed towards the surface (8) of a sample to be measured by means of an optical system (5, 16). According to the invention, the optical system (5, 16) comprises an electrically controlled adaptive optics (7), wherein the focus of the optical system (5, 16) is varied by an electric signal (f (t)) in the Z-direction. The light reflected back from the sample surface (8) is directed to at least one photosensor (10), where the sensor signal is measured over time by means of a detection device (11) and the time of a signal maximum is determined. The detection device (11) derives the height Z of the surface (8) from the electric signal at the time of the signal maximum.
(FR) L'invention concerne un procédé et un dispositif de mesure optique de surfaces techniques au moyen d'un capteur confocal, de la lumière d'une source lumineuse (2) étant dirigée sur la surface (8) à mesurer d'un échantillon, par l’intermédiaire d'un système optique (5, 16). Selon l’invention, ledit système optique (5, 16) comprend une optique (7) adaptative à commande électrique, le foyer du système optique (5, 16) pouvant être modulé par un signal électrique (f(t)) dans la direction Z. La lumière réfléchie par la surface d'échantillon (8) est déviée vers au moins un photocapteur (10), le signal de capteur étant mesuré au cours du temps au moyen d'un système de détection (11) et l'instant d'un maximum du signal étant déterminé. Le système de détection (11) déduit du signal électrique, à l'instant du maximum de signal, la hauteur Z de la surface (8).
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur optischen Vermessung von technischen Oberflächen mit Hilfe eines konfokalen Sensors, wobei Licht einer Lichtquelle (2) über ein optisches System (5, 16) auf die zu vermessende Oberfläche (8) einer Probe gerichtet wird. Erfindungsgemäß umfasst das optische System (5, 16) eine elektrisch angesteuerte adaptive Optik (7), wobei der Fokus des optischen Systems (5, 16) durch ein elektrisches Signal (f (t)) in Z-Richtung variiert wird. Das von der Probenoberfläche (8) zurückreflektierte Licht wird auf mindestens einen Fotosensor (10) gelenkt, wobei das Sensorsignal mittels einer Detektionseinrichtung (11) über die Zeit gemessen und der Zeitpunkt eines Signalmaximums bestimmt wird. Die Detektionseinrichtung (11) leitet aus dem elektrischen Signal zum Zeitpunkt des Signalmaximums die Höhe Z der Oberfläche (8) ab.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)