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1. (WO2019020529) DRUCKSENSORANORDNUNG, MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2019/020529 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/069810
Veröffentlichungsdatum: 31.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 20.07.2018
IPC:
G01L 19/00 (2006.01) ,G01L 19/06 (2006.01) ,G01L 19/14 (2006.01) ,B81B 7/00 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
19
Einzelheiten von oder Zubehör für Apparate zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines fließfähigen Mediums insoweit, als solche Einzelheiten oder solches Zubehör nicht besonderen Arten von Druckmessern eigentümlich sind
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
19
Einzelheiten von oder Zubehör für Apparate zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines fließfähigen Mediums insoweit, als solche Einzelheiten oder solches Zubehör nicht besonderen Arten von Druckmessern eigentümlich sind
06
Mittel zum Verhindern einer Überbelastung oder eines schädlichen Einflusses des gemessenen Mediums auf die Messvorrichtung oder umgekehrt
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
19
Einzelheiten von oder Zubehör für Apparate zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines fließfähigen Mediums insoweit, als solche Einzelheiten oder solches Zubehör nicht besonderen Arten von Druckmessern eigentümlich sind
14
Gehäuse
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
7
Mikrostruktursysteme
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
GUFFARTH, Florian; DE
RAJARAMAN, Vijaye; DE
SODAN, Lars; DE
HAEUSSERMANN, Conrad; DE
AMOR BURGOS, Vicente; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 212 866.626.07.2017DE
Titel (EN) PRESSURE SENSOR ARRANGEMENT, MEASURING DEVICE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
(FR) ENSEMBLE DE CAPTEURS DE PRESSION, DISPOSITIF DE MESURE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CEUX-CI
(DE) DRUCKSENSORANORDNUNG, MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a pressure sensor arrangement (10) having at least one pressure sensor device (12), wherein the pressure sensor device (12) has a stack with a ceramic substrate (14), at least one signal processing element (24) and at least one sensor element (20), wherein the pressure sensor device (12) is accommodated in a sensor housing (30) provided with a membrane (32) and wherein a residual volume of the sensor housing (30) provided with the membrane (32) is filled with an incompressible fluid (38). In addition, the invention relates to a method for producing such a pressure sensor arrangement (10) and to a measuring device.
(FR) L’invention concerne un ensemble de capteurs de pression (10) comportant au moins un moyen formant capteur de pression (12). Le moyen formant capteur de pression (12) comporte un empilement comprenant un substrat de céramique (14), au moins un élément de traitement de signal (24) et au moins un élément formant capteur (20). Le moyen formant capteur de pression (12) est monté dans un boîtier de capteur (30) muni d’une membrane (32) et un volume résiduel du boîtier de capteur (30), muni de la membrane (32), est rempli d’un fluide incompressible (38). En outre, l’invention concerne un procédé de fabrication d’un tel ensemble formant capteur de pression (10) et un dispositif de mesure.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Drucksensoranordnung (10), mit zumindest einer Drucksensoreinrichtung (12), wobei die Drucksensoreinrichtung (12) einen Stapel mit einem keramischen Substrat (14), mindestens einem Signalverarbeitungselement (24) und mindestens einem Sensorelement (20) aufweist, wobei die Drucksensoreinrichtung (12) in einem mit einer Membran (32) versehenen Sensorgehäuse (30) eingebracht ist und wobei ein Restvolumen des mit der Membran (32) versehenen Sensorgehäuses (30) mit einem inkompressiblen Fluid (38) verfüllt ist. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Drucksensoranordnung (10) und eine Messvorrichtung.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)