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1. (WO2019020409) MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROMECHANISCHEN VORRICHTUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2019/020409 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/069191
Veröffentlichungsdatum: 31.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 16.07.2018
IPC:
G01L 9/12 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01) ,G01L 9/00 (2006.01) ,G01L 19/06 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9
Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
12
unter Ausnutzung von Kapazitätsänderungen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
C
Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
1
Herstellung oder Behandlung von Bauelementen oder Systemen in oder auf einem Substrat
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9
Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
19
Einzelheiten von oder Zubehör für Apparate zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines fließfähigen Mediums insoweit, als solche Einzelheiten oder solches Zubehör nicht besonderen Arten von Druckmessern eigentümlich sind
06
Mittel zum Verhindern einer Überbelastung oder eines schädlichen Einflusses des gemessenen Mediums auf die Messvorrichtung oder umgekehrt
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:
SENZ, Volkmar; DE
FRIEDRICH, Thomas; DE
HEUCK, Friedjof; DE
SCHWARZ, Mike; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 212 875.526.07.2017DE
Titel (DE) MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIKROMECHANISCHEN VORRICHTUNG
(EN) MICROMECHANICAL DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL DEVICE
(FR) DISPOSITIF MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung (1a; 1b; 1c), mit einem Trägersubstrat (2); einer Sensoreinrichtung (3), welche von einem Oberflächenabschnitt (4) des Trägersubstrats (2) beabstandet mittels Federelementen (9) an dem Trägersubstrat (2) angeordnet ist, so dass die Sensoreinrichtung (3) relativ zu dem Oberflächenabschnitt (4) schwingbar ist; und mindestens einem an der Sensoreinrichtung (3) und/oder an dem Oberflächenabschnitt (4) des Trägersubstrats (2) angeordneten Stopperelement (51, 52), welches eine Auslenkung der Sensoreinrichtung (3) in Richtung des Oberflächenabschnitts (4) beschränkt.
(EN) The invention relates to a micromechanical device (1a; 1b; 1c), comprising: a carrier substrate (2); a sensor apparatus (3), which is arranged on the carrier substrate (2) by means of spring elements (9) in such a way that the sensor apparatus is spaced apart from a surface portion (4) of the carrier substrate (2), so that the sensor apparatus (3) can oscillate relative to the surface portion (4); and at least one stopper element (51, 52) arranged on the sensor apparatus (3) and/or on the surface portion (4) of the carrier substrate (2), which at least one stopper element limits deflection of the sensor apparatus (3) toward the surface portion (4).
(FR) L'invention concerne un dispositif micromécanique (1a; 1b; 1c) comprenant un substrat support (2); un dispositif de détection (3) qui est disposé sur le substrat support (2) à distance d'un segment de surface (4) du substrat support (2) au moyen d'éléments ressort (9), de sorte que le dispositif de détection (3) peut osciller par rapport au segment de surface (4); et au moins un élément butée (51, 52) disposé sur le dispositif de détection (3) et/ou sur le segment de surface (4) du substrat support (2), lequel élément butée limite une déviation du dispositif de détection (3) en direction du segment de surface (4).
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)