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1. (WO2019020315) GEWICHTSKRAFTKOMPENSATIONSEINRICHTUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2019/020315 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/067583
Veröffentlichungsdatum: 31.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 29.06.2018
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,F16C 32/04 (2006.01) ,G02B 7/182 (2006.01) ,H02N 15/00 (2006.01)
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16
Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
C
Wellen; Flexible Wellen; Mechanische Vorrichtungen in einer biegsamen Führungshülle zum Übertragen von Bewegungen; Einzelteile von Kurbeltrieben; Drehgelenke; Gelenkige Verbindungen; Sich drehende Maschinenelemente, außer Getriebe-, Kupplungs- oder Bremsenelemente; Lager
32
Anderweitig nicht vorgesehene Lager
04
Magnetische oder elektrische Lagerung
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
7
Halterungen, Fassungen, Justiereinrichtungen oder lichtdichte Verbindungen für optische Elemente
18
für Prismen; für Spiegel
182
für Spiegel
H Elektrotechnik
02
Erzeugung, Umwandlung oder Verteilung von elektrischer Energie
N
Elektrische Maschinen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
15
Halterungs- oder Tragvorrichtungen, die die magnetische Anziehung oder Abstoßung benutzen und nicht anderswo vorgesehen sind
Anmelder:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
ERATH, Michael; DE
Vertreter:
LORENZ, Markus; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 212 773.225.07.2017DE
Titel (EN) WEIGHT-FORCE COMPENSATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE COMPENSATION DE POIDS
(DE) GEWICHTSKRAFTKOMPENSATIONSEINRICHTUNG
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a weight-force compensation device (1), comprising a stator (3) and a translator (2). The translator (2) can be moved relative to the stator (3) along a movement axis (A). The translator (2) has a first permanent magnet arrangement (10) having an axial magnetization. The stator (3) has a second permanent magnet arrangement (11), which radially surrounds the first permanent magnet arrangement (10). The stator (3) also has a third permanent magnet arrangement (12), which is arranged coaxially below the first permanent magnet arrangement (10) and has an axial magnetization, which is oriented inversely to the axial magnetization of the first permanent magnet arrangement (10). Furthermore, the stator (3) has a magnetic body arrangement (13), which is arranged coaxially above the first permanent magnet arrangement (10). The first permanent magnet arrangement (10), the second permanent magnet arrangement (11), the third permanent magnet arrangement (12) and the magnetic body arrangement (13) form a magnetic unit (14) and, in interaction with each other, produce a compensating force (FM), which counteracts the weight force (FG) acting on the translator (2).
(FR) L’invention concerne un dispositif de compensation de force de poids (1), comprenant un stator (3) et un translateur (2), le translateur (2) étant mobile par rapport au stator (3) le long d’un axe de déplacement (A), et le translateur (2) comprenant un premier assemblage d’aimant permanent (10) présentant une magnétisation axiale, et le stator (3) comprenant un deuxième assemblage d’aimant permanent (11), qui entoure radialement le premier assemblage d’aimant permanent (10). Le stator (3) comprend en outre un troisième assemblage d’aimant permanent (12), disposé coaxialement en dessous du premier assemblage d’aimant permanent (10) et présentant une magnétisation axiale qui est orientée en sens inverse à la magnétisation axiale du premier assemblage d’aimant permanent (10). Le stator comprend en outre un assemblage de corps magnétique (13) disposé coaxialement au-dessus du premier assemblage d’aimant permanent (10). Le premier assemblage d’aimant permanent (10), le deuxième assemblage d’aimant permanent (11), le troisième assemblage d’aimant permanent (12) et l’assemblage de corps magnétique (13) forment une unité magnétique (14) et génèrent en interagissant les uns avec les autres une force de compensation (FM) qui agit en sens contraire à la force de poids (FG) agissant sur le translateur (2).
(DE) Die Erfindung betrifft eine Gewichtskraftkompensationseinrichtung (1), umfassend einen Stator (3) und einen Translator (2), wobei der Translator (2) relativ zu dem Stator (3) entlang einer Bewegungsachse (A) beweglich ist, und wobei der Translator (2) eine erste Permanentmagnetanordnung (10) mit einer axialen Magnetisierung aufweist, und der Stator (3) eine zweite Permanentmagnetanordnung (11) aufweist, die die erste Permanentmagnetanordnung (10) radial umgibt. Der Stator (3) weist ferner eine dritte Permanentmagnetanordnung (12) auf, die koaxial unterhalb der ersten Permanentmagnetanordnung (10) angeordnet ist und eine axiale Magnetisierung aufweist, welche invers zu der axialen Magnetisierung der ersten Permanentmagnetanordnung (10) ausgerichtet ist. Ferner weist der Stator (3) eine Magnetkörperanordnung (13) auf, die koaxial oberhalb der ersten Permanentmagnetanordnung (10) angeordnet ist. Die erste Permanentmagnetanordnung (10), die zweite Permanentmagnetanordnung (11), die dritte Permanentmagnetanordnung (12) und die Magnetkörperanordnung (13) bilden eine Magneteinheit (14) aus und erzeugen in Wechselwirkung miteinander eine Kompensationskraft (FM), die der auf den Translator (2) wirkenden Gewichtskraft (FG) entgegenwirkt.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)