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1. (WO2019011382) TROCKNUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR TROCKNUNG EINES SUBSTRATS
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Veröff.-Nr.: WO/2019/011382 Internationale Anmeldenummer PCT/DE2018/100641
Veröffentlichungsdatum: 17.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 12.07.2018
IPC:
H01L 21/67 (2006.01) ,F26B 21/00 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01) ,H05K 3/22 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
26
Trocknen
B
Trocknen von festen Gütern oder Erzeugnissen durch Entfernen von Flüssigkeit
21
Anordnungen zum Zuführen oder zum Steuern oder Regeln des Flusses von Luft oder Gasen zum Trocknen von festen Gütern oder Erzeugnissen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
677
zum Transportieren oder Fördern, z.B. zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen
H Elektrotechnik
05
Elektrotechnik, soweit nicht anderweitig vorgesehen
K
Gedruckte Schaltungen; Gehäuse oder konstruktive Einzelheiten von elektrischen Geräten; Herstellung von Baugruppen aus elektrischen Elementen
3
Geräte oder Verfahren zum Herstellen gedruckter Schaltungen
22
Zweitbehandlung von gedruckten Schaltungen
Anmelder:
RENA TECHNOLOGIES GMBH [DE/DE]; Höhenweg 1 78148 Gütenbach, DE
Erfinder:
UIHLEIN, Markus; DE
HANSEN, Stefan; DE
ROSSHART, Tobias; DE
Vertreter:
HEYERHOFF GEIGER & PARTNER PATENTANWÄLTE PARTGMBB; Heiligenbreite 52 88662 Überlingen, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 115 875.814.07.2017DE
Titel (EN) DRYING DEVICE AND METHOD FOR DRYING A SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF DE SÉCHAGE ET PROCÉDÉS DE SÉCHAGE D’UN SUBSTRAT
(DE) TROCKNUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR TROCKNUNG EINES SUBSTRATS
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a drying device (1) comprising at least one upper drying head (2a) and at least one lower (3a) drying head, wherein the at least one upper drying head (2a) is arranged above a transport plane (8), in which objects to be dried can be transported in a transport direction (9) through the drying device (1), and wherein the at least one lower drying head (3a) is arranged below said transport plane (8), the at least one upper drying head (2a) and the at least one lower drying head (3a) comprising in each case at least one air outlet slot (4a, 5a) and the longitudinal directions of said air outlet slots (4a, 5a) essentially extending parallel to the transport plane (8) and transversely to the transport direction (9), and in which slot planes (11), in which said air outlet slots extend, intersect the transport plane (8) at angles (a) which are greater than 0° and less than 90°; and method for drying a planar substrate (7) in a continuous system.
(FR) L’invention concerne un dispositif de séchage (1) comportant au moins une tête supérieure (2a) de séchage et au moins une tête inférieure (3a) de séchage, dans lequel la ou les têtes supérieures (2a) de séchage étant agencées au-dessus d’un plan de transport (8) dans lequel des objets à sécher peuvent être transportés à travers le dispositif de séchage (1) dans une direction de transport (9), et la ou les têtes inférieures (3a) de séchage étant agencées sous ledit plan de transport (8), la ou les têtes supérieures (2a) de séchage et la ou les têtes inférieures (3a) de séchage comportent au moins une fente de sortie d’air (4a, 5a), des directions longitudinales desdites fentes de sortie d’air (4a, 5a) s’étendent sensiblement parallèlement au plan de transport (8) et obliquement par rapport à la direction de transport (9), et dans lequel des plans de fentes (11) dans lesquels passent lesdites fentes de sortie d’air coupent le plan de transport (8) à des angles (a) qui sont supérieurs à 0° et inférieurs à 90° ; ainsi que des procédés de séchage d’un substrat (7) plat dans une installation de passage.
(DE) Trocknungsvorrichtung (1) aufweisend wenigstens einen oberen Trocknungskopf (2a) und wenigstens einen unteren (3a) Trocknungskopf, bei welcher der wenigstens eine obere Trocknungskopf (2a) oberhalb einer Transportebene (8), in welcher zu trocknende Objekte in einer Transportrichtung (9) durch die Trocknungsvorrichtung (1) hindurch transportierbar sind, angeordnet ist, und der wenigstens eine untere Trocknungskopf (3a) unterhalb der genannten Transportebene (8) angeordnet ist, der wenigstens eine obere Trocknungskopf (2a) und der wenigstens eine untere Trocknungskopf (3a) jeweils wenigstens einen Luftaustrittsschlitz (4a, 5a) aufweisen, Längsrichtungen der genannten Luftaustrittsschlitze (4a, 5a) sich im Wesentlichen parallel zu der Transportebene (8) und quer zu der Transportrichtung (9) erstrecken und bei welcher Schlitzebenen (11), in welchen die genannten Luftaustrittsschlitze verlaufen, die Transportebene (8) unter Winkeln (a) schneiden, welche größer als 0° und kleiner als 90° sind; sowie Verfahren zur Trocknung eines flächigen Substrats (7) in einer Durchlaufanläge.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)