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1. (WO2019009391) OPTICAL MODULE
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Veröff.-Nr.: WO/2019/009391 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/025633
Veröffentlichungsdatum: 10.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 06.07.2018
IPC:
G02B 26/00 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01) ,G02B 7/198 (2006.01)
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
26
Optische Vorrichtungen oder Anordnungen mit beweglichen oder verformbaren optischen Elementen zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder Richtung von Licht, z.B. Schalten, Austasten, Modulieren
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
9
Instrumente wie in den Untergruppen aufgeführt und gekennzeichnet durch die Verwendung von optischen Messmitteln
02
Interferometer
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3
Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
28
Untersuchen des Spektrums
45
Interferenz-Spektrometrie
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
7
Halterungen, Fassungen, Justiereinrichtungen oder lichtdichte Verbindungen für optische Elemente
18
für Prismen; für Spiegel
182
für Spiegel
198
justierbare Spiegelhalterungen
Anmelder:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
Erfinder:
鈴木 智史 SUZUKI Tomofumi; JP
港谷 恭輔 KOTANI Kyosuke; JP
杉本 達哉 SUGIMOTO Tatsuya; JP
Vertreter:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
Prioritätsdaten:
2017-13308906.07.2017JP
Titel (EN) OPTICAL MODULE
(FR) MODULE OPTIQUE
(JA) 光モジュール
Zusammenfassung:
(EN) This optical module is provided with a mirror unit and a beam splitter unit. The mirror unit is provided with: a base having a main surface; a movable mirror; a first fixed mirror; and a drive unit. The beam splitter unit, the movable mirror, and the first fixed mirror form a first interference optical system for measurement light. A mirror surface of the movable mirror and a mirror surface of the first fixed mirror extend in a plane parallel to the main surface, and face one side in a first direction orthogonal to the main surface. The movable mirror, the drive unit, and at least a portion of the optical path between the beam splitter unit and the first fixed mirror are disposed in an airtight space.
(FR) La présente invention concerne un module optique comportant une unité de miroir et une unité de diviseur de faisceau. L'unité de miroir comporte : une base présentant une surface principale ; un miroir mobile ; un premier miroir fixe ; et une unité d'entraînement. L'unité de diviseur de faisceau, le miroir mobile et le premier miroir fixe forment un premier système optique d 'interférence destiné à la lumière de mesure. Une surface de miroir du miroir mobile et une surface de miroir du premier miroir fixe s'étendent dans un plan parallèle à la surface principale et se trouvent en regard dans une première direction orthogonale à la surface principale. Le miroir mobile, l'unité d'entraînement et au moins une partie du chemin optique entre l'unité de diviseur de faisceau et le premier miroir fixe se trouvent dans un espace étanche à l'air.
(JA) 光モジュールは、ミラーユニットと、ビームスプリッタユニットと、を備える。ミラーユニットは、主面を有するベースと、可動ミラーと、第1固定ミラーと、駆動部と、を有する。ビームスプリッタユニットは、可動ミラー及び第1固定ミラーと共に測定光について第1干渉光学系を構成している。可動ミラーのミラー面及び第1固定ミラーのミラー面は、主面に平行な平面に沿っており、主面に垂直な第1方向における一方の側に向いている。可動ミラー及び駆動部、並びに、ビームスプリッタユニットと第1固定ミラーとの間の光路の少なくとも一部は、気密空間に配置されている。
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)