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1. (WO2019009065) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
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Veröff.-Nr.: WO/2019/009065 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/023311
Veröffentlichungsdatum: 10.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 19.06.2018
IPC:
H01L 21/673 (2006.01) ,B65D 43/02 (2006.01) ,B65D 53/02 (2006.01) ,B65D 85/86 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
673
unter Verwendung besonders ausgebildeter Trägersysteme
B Arbeitsverfahren; Transportieren
65
Fördern; Packen; Lagern; Handhaben dünner oder fadenförmiger Werkstoffe
D
Behältnisse zur Lagerung oder zum Transport von Gegenständen oder Materialien [Container], z.B. Säcke, Beutel, Fässer, Flaschen, Dosen, Kästen, Büchsen, Schachteln, Packkörbe, Tonnen, Gläser, Flüssigkeitsbehälter, Trichtersilos, Transportbehälter; Zubehör, Verschlüsse oder Ausrüstungen hierfür; Verpackungselemente; Verpackungen
43
Deckel oder Abdeckungen für steife oder halbsteife Behälter
02
entfernbare Deckel oder Abdeckungen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
65
Fördern; Packen; Lagern; Handhaben dünner oder fadenförmiger Werkstoffe
D
Behältnisse zur Lagerung oder zum Transport von Gegenständen oder Materialien [Container], z.B. Säcke, Beutel, Fässer, Flaschen, Dosen, Kästen, Büchsen, Schachteln, Packkörbe, Tonnen, Gläser, Flüssigkeitsbehälter, Trichtersilos, Transportbehälter; Zubehör, Verschlüsse oder Ausrüstungen hierfür; Verpackungselemente; Verpackungen
53
Dichtungs- oder Packungselemente; durch Flüssigkeit oder plastisches Material gebildete Dichtungen
02
Bunde oder Ringe
B Arbeitsverfahren; Transportieren
65
Fördern; Packen; Lagern; Handhaben dünner oder fadenförmiger Werkstoffe
D
Behältnisse zur Lagerung oder zum Transport von Gegenständen oder Materialien [Container], z.B. Säcke, Beutel, Fässer, Flaschen, Dosen, Kästen, Büchsen, Schachteln, Packkörbe, Tonnen, Gläser, Flüssigkeitsbehälter, Trichtersilos, Transportbehälter; Zubehör, Verschlüsse oder Ausrüstungen hierfür; Verpackungselemente; Verpackungen
85
Behältnisse, Verpackungselemente oder Verpackungen, die speziell geeignet sind für besondere Gegenstände oder Materialien
86
für elektrische Teile
Anmelder:
信越ポリマー株式会社 SHIN-ETSU POLYMER CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区神田須田町一丁目9番地 9, Kandasuda-cho 1chome, Chiyoda-ku Tokyo 1010041, JP
Erfinder:
小川 統 OGAWA Osamu; JP
Vertreter:
坂本 智弘 SAKAMOTO Tomohiro; JP
Prioritätsdaten:
2017-13370807.07.2017JP
Titel (EN) SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
Zusammenfassung:
(EN) The present invention provides a substrate storage container (1) provided with: a container body (10) in which a substrate (W) is stored; a lid member (20) which closes an opening (11) of the container body (10); a lock mechanism with which the lid member (20) is fitted and which is locked on a portion to be locked of the container body (10); and a packing (P) interposed between the container body (10) and the lid member (20). The packing (P) includes a first packing (30) attached to the container body (10), and a second packing (40) attached to the lid member (20). The first packing (30) and the second packing (40), when viewed from a direction orthogonal to a closing direction (H) of the lid member (20), is positioned on the inside of the container body (10) with respect to the position of the portion to be locked. In this way, it is possible to improve sealing property with respect to internal negative pressure and positive pressure, and to provide a substrate storage container with improved internal cleanliness.
(FR) La présente invention concerne un récipient de stockage de substrat (1) comprenant : un corps de récipient (10) dans lequel un substrat (W) est stocké; un élément de couvercle (20) qui renferme une ouverture (11) du corps de récipient (10); un mécanisme de verrouillage avec lequel l'élément de couvercle (20) est ajusté et qui est verrouillé sur une partie à verrouiller du corps de récipient (10); et une garniture (P) interposée entre le corps de récipient (10) et l'élément de couvercle (20). La garniture (P) comprend une première garniture (30) fixée au corps de récipient (10), et une seconde garniture (40) fixée à l'élément de couvercle (20). La première garniture (30) et la seconde garniture (40), lorsqu'elles sont vues depuis une direction orthogonale à une direction de fermeture (H) de l'élément de couvercle (20), sont positionnées sur l'intérieur du corps de récipient (10) par rapport à la position de la partie à verrouiller. De cette manière, il est possible d'améliorer la propriété d'étanchéité vis-à-vis de la pression négative interne et de la pression positive, et de fournir un récipient de stockage de substrat ayant une propreté interne améliorée.
(JA) 本発明は、基板(W)を収納する容器本体(10)と、容器本体(10)の開口(11)を閉止する蓋体(20)と、蓋体(20)に設けられ、容器本体(10)の被係止部に係止される施錠機構と、容器本体(10)及び蓋体(20)との間に介在されるパッキン(P)と、を備える基板収納容器(1)であって、パッキン(P)は、容器本体(10)に取り付けられる第1パッキン(30)と、蓋体(20)に取り付けられる第2パッキン(40)と、を含み、第1パッキン(30)及び第2パッキン(40)は、蓋体(20)の閉止方向(H)に直交する方向から見たとき、被係止部の位置よりも、容器本体(10)の内側に位置するものである。これにより、内部の陰圧及び陽圧に対するシール性を向上させるとともに、内部の清浄性を向上させる基板収納容器を提供することができる。
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)