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1. (WO2019008814) SUBSTRATE GRIPPING HAND AND SUBSTRATE CONVEYING DEVICE PROVIDED WITH SAME
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Veröff.-Nr.: WO/2019/008814 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/005573
Veröffentlichungsdatum: 10.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 16.02.2018
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
677
zum Transportieren oder Fördern, z.B. zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen
Anmelder:
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
カワサキロボティクス(アメリカ合衆国),インク. KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC. [US/US]; ミシガン州ウィクソム レイクビュウドライブ 28140 28140, Lakeview Drive, Wixom, Michigan 48393, US
Erfinder:
吉田 哲也 YOSHIDA, Tetsuya; --
中原 一 NAKAHARA, Hajime; --
タン, マーク TANG, Mark; --
Vertreter:
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
Prioritätsdaten:
15/641,82505.07.2017US
Titel (EN) SUBSTRATE GRIPPING HAND AND SUBSTRATE CONVEYING DEVICE PROVIDED WITH SAME
(FR) MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT LA COMPRENANT
(JA) 基板把持ハンド及びそれを備える基板搬送装置
Zusammenfassung:
(EN) The present invention is a substrate gripping hand provided with: a base plate (11); and a guiding member (12) that is provided on the base plate (11), that is formed in an L shape as viewed in the horizontal direction, and an inner wall surface (12i) of which is formed so as to bend, wherein the inner wall surface (12i) of the guiding member (12) is formed such that the angle α between a first inner wall section (12c), which is a section most distant from a bottom surface (12b), and the bottom surface (12b) becomes larger than the angle β between a second inner wall section (12d), which is a section closest to the bottom surface (12b), and the bottom surface (12b).
(FR) La présente invention concerne une main de préhension de substrat comportant : une plaque de base (11) ; et un élément de guidage (12) qui est disposé sur la plaque de base (11), qui se présente sous une forme de L tel qu'observé dans la direction horizontale, et dont une surface de paroi interne (12i) est formée de manière à fléchir, la surface de paroi interne (12i) de l'élément de guidage (12) étant formée de telle sorte que l'angle α entre une première section de paroi interne (12c), qui est la section la plus éloignée d'une surface inférieure (12b), et la surface inférieure (12b) devient supérieur à l'angle β entre une seconde section de paroi interne (12d), qui est la section la plus proche de la surface inférieure (12b), et la surface inférieure (12b).
(JA) ベース板(11)と、ベース板(11)に設けられ、水平方向から見て、L字状に形成されていて、内壁面(12i)が屈曲するように形成されている、ガイド部材(12)と、を備え、ガイド部材(12)の内壁面(12i)は、底面(12b)から最も遠い部分である第1内壁部(12c)と底面(12b)とのなす角度αが、底面(12b)に最も近い部分である第2内壁部(12d)と底面(12b)とのなす角度βに比して、大きくなるように形成されている、基板把持ハンド。
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)