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1. (WO2019007465) TERAHERTZ-MESSVORRICHTUNG UND EIN TERAHERTZ-MESSVERFAHREN ZUM VERMESSEN VON PRÜFOBJEKTEN
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Veröff.-Nr.: WO/2019/007465 Internationale Anmeldenummer PCT/DE2018/100614
Veröffentlichungsdatum: 10.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 04.07.2018
IPC:
G01B 11/02 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
02
zum Messen der Länge, Breite oder Dicke
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
02
zum Messen der Länge, Breite oder Dicke
06
zum Messen der Dicke
Anmelder:
INOEX GMBH INNOVATIONEN UND AUSRÜSTUNGEN FÜR DIE EXTRUSIONSTECHNIK [DE/DE]; Maschweg 70 49324 Melle, DE
Erfinder:
THIEL, Marius; DE
Vertreter:
BREMER, Ulrich, H.; Advopat Patent- und Rechtsanwälte Theaterstr. 6 30159 Hannover, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 114 879.504.07.2017DE
Titel (EN) TERAHERTZ MEASURING DEVICE AND TERAHERTZ MEASURING METHOD FOR MEASURING OBJECTS TO BE INSPECTED
(FR) DISPOSITIF DE MESURE EN TÉRAHERTZ ET PROCÉDÉ DE MESURE EN TÉRAHERTZ POUR MESURER DES OBJETS À TESTER
(DE) TERAHERTZ-MESSVORRICHTUNG UND EIN TERAHERTZ-MESSVERFAHREN ZUM VERMESSEN VON PRÜFOBJEKTEN
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a terahertz measuring device (1) for time-of-flight measurements of objects (8) to be inspected, in particular for layer thickness measurements and distance measurements of the objects (8) to be inspected, the terahertz measuring device (1) having a transmitting and receiving apparatus (2) for emitting terahertz radiation (10) along an optical axis (A) and for receiving reflected terahertz radiation and a control and evaluation unit (3) for controlling the transmitting and receiving apparatus (2) and for evaluating measurement signals (M) of the transmitting and receiving apparatus (2). According to the invention, a beamsplitter (4) is provided for splitting the emitted terahertz radiation (10) into at least a first terahertz partial radiation (10a) and a second terahertz partial radiation (10b) along different optical partial axes (A1, A2), and a reflection apparatus (5) is provided for reflecting the second terahertz partial radiation (10b) along a second optical partial axis (A2) different from the first optical partial axis (A1) of the first terahertz partial radiation (10a, 10b) and for reflecting the second terahertz partial radiation (10b) reflected by the object (8) to be inspected back to the beamsplitter (4) and/or to the transmitting and receiving unit (2), the transmitting and receiving unit (2) generating a common measurement signal from the partial radiations (10a, 10b) reflected at the object (8) to be inspected and outputting said common measurement signal to the control and evaluation unit (3) for determination of at least one layer thickness and/or one distance of the object (8) to be inspected.
(FR) L'invention concerne un dispositif de mesure en térahertz (1) destiné à des mesures de temps de propagation d'objets à tester (8), en particulier à des mesures d'épaisseur de couche et à des mesures de distance des objets à tester (8). Le dispositif de mesure en térahertz (1) comprend : un moyen d'émission et de réception (2) destiné à émettre un rayonnement en térahertz (10) le long d'un axe optique (A) et à recevoir un rayonnement en térahertz réfléchi, une unité de commande et d'évaluation (3) destinée à commander l'unité d'émission et de réception (2) et à évaluer les signaux de mesure (M) de l'unité d'émission et de réception (2). Selon l'invention, il est prévu un séparateur de faisceau (4) destiné à diviser le rayonnement en térahertz émis (10) en au moins un premier rayonnement en térahertz partiel (10a) et un deuxième rayonnement en térahertz partiel (10b) le long de différents axes optiques partiels (A1, A2), un moyen de réflexion (5) destiné à réfléchir le deuxième rayonnement en térahertz partiel (10b) le long d'un deuxième axe optique partiel (A2) différent du premier axe optique partiel (A1) du premier rayonnement en térahertz partiel (10a, 10b) et réfléchir le deuxième rayonnement en térahertz partiel (10b) réfléchi par l'objet à tester (8) vers le séparateur de faisceau (4) et/ou l'unité d'émission et de réception (2). L'unité d'émission et de réception (2) génère un signal de mesure commun à partir des rayonnements partiels (10a, 10b) réfléchis par l'objet à tester (8) et l'envoie à l'unité de commande et d'évaluation (3) pour déterminer au moins une épaisseur de couche et/ou une distance de l'objet à tester (8).
(DE) Die Erfindung betrifft eine Terahertz-Messvorrichtung (1) für Laufzeitmessungen von Prüfobjekten (8), insbesondere für Schichtdickenmessungen und Abstandsmessungen der Prüfobjekte (8), wobei die Terahertz-Messvorrichtung (1) aufweist: eine Sende- und Empfangseinrichtung (2) zum Aussenden einer Terahertz-Strahlung (10) entlang einer optischen Achse (A) und zum Empfangen reflektierter Terahertz-Strahlung, eine Steuer- und Auswerteeinheit (3) zur Ansteuerung der Sende- und Empfangseinheit (2) und Auswertung von Messsignalen (M) der Sende- und Empfangseinheit (2). Hierbei ist vorgesehen, dass ein Strahlteiler (4) vorgesehen ist zum Teilen der ausgesandten Terahertz-Strahlung (10) in mindestens eine erste Terahertz-Teil-Strahlung (10a) und eine zweite Terahertz-Teil-Strahlung (10b) entlang unterschiedlicher optischer Teilachsen (A1, A2), eine Reflexionseinrichtung (5) zum Reflektieren der zweiten Terahertz-Teil-Strahlung (10b) entlang einer von der ersten optischen Teilachse (A1) der ersten Terahertz-Teil-Strahlung (10a, 10b) verschiedenen zweiten optischen Teilachse (A2) und Reflektieren der von dem Prüfobjekt (8) reflektierten zweiten Terahertz-Teil-Strahlung (10b) zurück zu dem Strahlteiler (4) und/oder der Sende- und Empfangseinheit (2), wobei die Sende- und Empfangseinheit (2) aus den an dem Prüfobjekt (8) reflektierten Teil-Strahlungen (10a, 10b) ein gemeinsames Messsignal erzeugt und an die Steuer- und Auswerteeinheit (3) ausgibt zur Ermittlung mindestens einer Schichtdicke und/oder eines Abstands des Prüfobjektes (8).
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)