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1. (WO2019001776) SENSORVORRICHTUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2019/001776 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/052791
Veröffentlichungsdatum: 03.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 05.02.2018
IPC:
G01N 27/22 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
27
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwendung elektrischer, elektrochemischer oder magnetischer Mittel
02
durch Ermittlung der Impedanz
22
durch Untersuchen der Kapazität
Anmelder:
E+E ELEKTRONIK GES.M.B.H [AT/AT]; Langwiesen 7 4209 Engerwitzdorf, AT
Erfinder:
HAIDER, Albin; AT
NIESSNER, Georg; AT
Vertreter:
HOFMANN, Ernst; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 210 874.628.06.2017DE
Titel (EN) SENSOR DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION
(DE) SENSORVORRICHTUNG
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a sensor device for measuring humidity. Said sensor device comprises an electroconductive semiconductor substrate on which a capacitive humidity sensor is arranged that includes a lower electrode, a humidity-permeable upper electrode, a humidity-sensitive dielectric between the lower and upper electrodes, and at least one reference capacitor on the semiconductor substrate for analyzing the humidity sensor. The lower electrode of the capacitive humidity sensor is part of the reference capacitor.
(FR) L'invention concerne un dispositif de détection pour la mesure de taux d'humiditié. Le dispositif comprend un substrat de support à semi-conducteur électro-conducteur sur lequel est disposé un capteur d'humidité capacitif qui présente une électrode de base, une électrode supérieure translucide humide et un diélectrique sensible à l'humidité disposé entre l'électrode de base et l'électrode supérieure, ainsi qu'au moins une capacité de référence disposée sur le susbtrat de support à semi-conducteur, pour l'évaluation du capteur d'humidité. L'électrode de base du capteur d'humidité capacitif fait partie de la capacité de référence (Fig. 1a).
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung zur Feuchtemessung. Diese umfasst ein elektrisch leitfähiges Halbleiter-Trägersubstrat, mit einem darauf angeordneten kapazitiven Feuchtesensor, der eine Grundelektrode, eine feuchte durchlässige Deckelektrode sowie ein zwischen Grund-und Deckelektrode angeordnetes, feuchteempfindliches Dielektrikum aufweist, sowie mindestens eine auf dem Halbleiter-Trägersubstrat angeordnete Referenzkapazität zur Auswertung des Feuchtesensors. Die Grundelektrode des kapazitiven Feuchtesensors ist Bestandteil der Referenzkapazität (Fig. 1a).
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)