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1. (WO2019001412) OPTICAL PATH COMPENSATION DEVICE
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Veröff.-Nr.: WO/2019/001412 Internationale Anmeldenummer PCT/CN2018/092818
Veröffentlichungsdatum: 03.01.2019 Internationales Anmeldedatum: 26.06.2018
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 9/00 (2006.01)
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
9
Registergerechtes oder sonstiges Positionieren von Kopiervorlagen, Masken, Rastern, fotografischen Folien oder strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. selbsttätig
Anmelder:
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Erfinder:
李淑蓉 LI, Shurong; CN
程海林 CHENG, Hailin; CN
Vertreter:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 长宁区天山西路789号1幢341室 Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Prioritätsdaten:
201710516788.529.06.2017CN
Titel (EN) OPTICAL PATH COMPENSATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE COMPENSATION DE TRAJET OPTIQUE
(ZH) 一种光程补偿装置
Zusammenfassung:
(EN) An optical path compensation device, comprising a wedge plate group (100), a driving mechanism (200) and a pre-tightening unit, wherein the wedge plate group includes a movable wedge plate (120) and a fixed wedge plate (100); the movable wedge plate has the same wedge angle as the fixed wedge plate and has a wedge surface opposite to that of the fixed wedge plate; the pre-tightening unit elastically presses the movable wedge plate on the fixed wedge plate; and the driving mechanism drives the wedge surface of the movable wedge plate to slide relative to the wedge surface of the fixed wedge plate. The optical path compensation device can effectively implement correction of a position of a focal plane of a focusing and leveling measurement system while avoiding causing other direction errors. The correcting process is smooth; the operation is convenient; and the correcting precision is high.
(FR) L'invention concerne un dispositif de compensation de trajet optique comprenant un groupe de plaques d'ancrage (100), un mécanisme d'entraînement (200) et une unité de pré-serrage, le groupe de plaques d'ancrage comprenant une plaque d'ancrage mobile (120) et une plaque d'ancrage fixe (100) ; la plaque d'ancrage mobile a le même angle de pente que la plaque d'ancrage fixe et elle a une surface de pente opposée à celle de la plaque d'ancrage fixe ; l'unité de pré-serrage presse de manière élastique la plaque d'ancrage mobile sur la plaque d'ancrage fixe ; et le mécanisme d'entraînement amène la surface de pente de la plaque d'ancrage mobile à coulisser par rapport à la surface de pente de la plaque d'ancrage fixe. Le dispositif de compensation de trajet optique peut efficacement parvenir à corriger une position d'un plan focal d'un système de mesure de mise au point et de mise à niveau tout en évitant d'entraîner d'autres erreurs de direction. Le processus de correction est simple ; l'utilisation est pratique ; et la précision de la correction est élevée.
(ZH) 一种光程补偿装置,包括楔板组(100)、驱动机构(200)及预紧单元,其中,楔板组包括可动楔板(120)和固定楔板(110),可动楔板与固定楔板的楔角相同,楔面方向相反,预紧单元将可动楔板弹性压设在固定楔板上,驱动机构驱动可动楔板的楔面相对固定楔板的楔面滑动。采用这种光程补偿装置,在避免引入其他方向误差的情况下有效实现对调焦调平测系统焦面位置的校正;校准过程顺畅、操作方便,且校准精度高。
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Chinesisch (ZH)
Anmeldesprache: Chinesisch (ZH)