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1. (WO2018233997) VERFAHREN ZUR UNTERSTÜTZUNG EINER JUSTAGE EINES STRAHLAUFWEITERS, JUSTAGEUNTERSTÜTZUNGSVORRICHTUNG UND STRAHLAUFWEITER
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Veröff.-Nr.: WO/2018/233997 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/064192
Veröffentlichungsdatum: 27.12.2018 Internationales Anmeldedatum: 30.05.2018
IPC:
G02B 27/09 (2006.01) ,G01B 11/27 (2006.01)
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
27
Andere optische Systeme; andere optische Geräte
09
Strahlformung, z.B. Änderung des Strahlquerschnitts, soweit nicht anderweitig vorgesehen
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
26
zum Messen von Winkeln oder Kegeln; zum Prüfen der Achsrichtungen
27
zum Prüfen der Achsrichtungen
Anmelder:
JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH [DE/DE]; Göschwitzer Straße 25 07745 Jena, DE
Erfinder:
WERSCHNIK, Jan; DE
FRANZ, Stefan; DE
MÜLLER-PFEIFFER, Stefan; DE
Vertreter:
WALDAUF, Alexander; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 006 008.823.06.2017DE
Titel (EN) METHOD FOR SUPPORTING AN ADJUSTMENT OF A BEAM EXPANDER, ADJUSTMENT SUPPORT DEVICE AND BEAM EXPANDER
(FR) PROCÉDÉ SERVANT À FACILITER L'AJUSTEMENT D'UN ÉLARGISSEUR DE FAISCEAU, DISPOSITIF D'ASSISTANCE À L'AJUSTEMENT ET ÉLARGISSEUR DE FAISCEAU
(DE) VERFAHREN ZUR UNTERSTÜTZUNG EINER JUSTAGE EINES STRAHLAUFWEITERS, JUSTAGEUNTERSTÜTZUNGSVORRICHTUNG UND STRAHLAUFWEITER
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a method for supporting an adjustment of a beam expander (100), which has a holding tube (102), having a light entry opening (104) and a light exit opening (108), and which has at least one optical element (200, 202, 204) arranged in a beam path between the light entry opening (104) and the light exit opening (108) for changing the diameter of a beam (106) coupled in via the light entry opening (104). In the method, a target position of the beam (106) along an optical axis (110) of the beam expander (100) is determined by sensing a reference surface (114) coupled to the holding tube (102), and an actual position of the beam (106) along the optical axis (110) is determined by sensing the energy distribution of the beam (106) with respect to a cross-sectional area of the holding tube (102). A deviation value representing a deviation between the actual position and the target position is determined by comparing the actual position with the target position. Finally, by using the deviation value, support information (124) for supporting an operator in the adjustment is output.
(FR) L'invention concerne un procédé servant à faciliter l'ajustement d'un élargisseur de faisceau (100) qui comporte un tube de réception (102) pourvu d'un orifice d'entrée de lumière (104) et d'un orifice de sortie de lumière (108) et au moins un élément optique (200, 202, 204) disposé dans un chemin optique entre l'orifice d'entrée de lumière (104) et l'orifice de sortie de lumière (108), servant à modifier un diamètre d'un faisceau de rayons (106) injecté par l'intermédiaire de l'orifice d'entrée de lumière (104). Le procédé consiste à définir une position théorique du faisceau de rayons (106) le long d'un axe optique (110) de l'élargisseur de rayons (100) en détectant une surface de référence (114) couplée au tube de réception (102) ainsi qu'une position réelle du faisceau de rayons (106) le long de l'axe optique (110) en détectant une répartition d'énergie du faisceau de rayons (106) par rapport à une surface de section transversale du tube de réception (102). Une comparaison de la position réelle et de la position théorique permet de déterminer une valeur d'écart représentant un écart entre une position réelle et une position théorique. Enfin, une information (124) servant à assister un utilisateur lors de l'ajustement est produite au moyen de la valeur d'écart.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Unterstützung einer Justage eines Strahlaufweiters (100), der ein Aufnahmerohr (102) mit einer Lichteintrittsöffnung (104) und einer Lichtaustrittsöffnung (108) und zumindest ein in einem Strahlengang zwischen der Lichteintrittsöffnung (104) und der Lichtaustrittsöffnung (108) angeordnetes optisches Element (200, 202, 204) zum Ändern eines Durchmessers eines über die Lichteintrittsöffnung (104) eingekoppelten Strahlenbündels (106) aufweist. Bei dem Verfahren wird eine Sollposition des Strahlenbündels (106) entlang einer optischen Achse (110) des Strahlaufweiters (100) durch Erfassen einer mit dem Aufnahmerohr (102) gekoppelten Referenzfläche (114) sowie eine Istposition des Strahlenbündels (106) entlang der optischen Achse (110) durch Erfassen einer Energieverteilung des Strahlenbündels (106) in Bezug auf eine Querschnittsfläche des Aufnahmerohrs (102) bestimmt. Durch Vergleichen der Ist-mit der Sollposition wird eine Abweichung zwischen der Ist-und der Sollposition repräsentierender Abweichungswert ermittelt. Schließlich wird unter Verwendung des Abweichungswertes eine Unterstützungsinformation (124) zur Unterstützung eines Bedieners bei der Justage ausgegeben.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)