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1. (WO2018225460) INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD
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Veröff.-Nr.: WO/2018/225460 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/018597
Veröffentlichungsdatum: 13.12.2018 Internationales Anmeldedatum: 14.05.2018
IPC:
G01N 21/88 (2006.01) ,G06T 1/00 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
84
Systeme, speziell ausgebildet für besondere Anwendungen
88
Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
G Physik
06
Datenverarbeitung; Rechnen; Zählen
T
Bilddatenverarbeitung oder Bilddatenerzeugung allgemein
1
Universelle Bilddatenverarbeitung
Anmelder:
株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１番地の１ Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
Erfinder:
大西　浩之 ONISHI, Hiroyuki; JP
Vertreter:
松阪　正弘 MATSUSAKA, Masahiro; JP
田中　勉 TANAKA, Tsutomu; JP
井田　正道 IDA, Masamichi; JP
Prioritätsdaten:
2017-11090405.06.2017JP
Titel (EN) INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査装置および検査方法
Zusammenfassung:
(EN) A high-frequency component removing unit (54) removes a high-frequency component from a first target image, obtained by capturing an image of a target object, and a first reference image, to acquire a second target image and a second reference image respectively. A correcting unit (56) corrects a value of a pixel corresponding to at least one of the first target image and the first reference image on the basis of a discrepancy, which is the ratio or the difference between the value of each pixel in the second target image and the value of the corresponding pixel in the second reference image. A comparing unit (55) detects a defective region in the first target image by comparing the first target image and the first reference image. By this means, defects can be detected accurately without modifying the first reference image even if the surface condition of the target object changes.
(FR) Une unité d'élimination de composant haute fréquence (54) retire une composante haute fréquence d'une première image cible, obtenue par capture d'une image d'un objet cible, et d'une première image de référence, pour acquérir respectivement une seconde image cible et une seconde image de référence. Une unité de correction (56) corrige une valeur d'un pixel correspondant à au moins la première image cible et à la première image de référence sur la base d'une divergence, qui est le rapport ou la différence entre la valeur de chaque pixel dans la seconde image cible et la valeur du pixel correspondant dans la seconde image de référence. Une unité de comparaison (55) détecte une région défectueuse dans la première image cible en comparant la première image cible et de la première image de référence. Par ce moyen, des défauts peuvent être détectés avec précision sans modifier la première image de référence même si la condition de surface de l'objet cible change.
(JA) 高周波成分除去部（５４）は、対象物を撮像して得られた第１対象画像と、第１参照画像とに対して高周波成分を除去して第２対象画像および第２参照画像をそれぞれ取得する。補正部（５６）は、第２対象画像の各画素の値と、第２参照画像の対応する画素の値との比または差である相違に基づいて第１対象画像および第１参照画像の少なくとも一方の対応する画素の値を補正する。比較部（５５）は、第１対象画像と第１参照画像とを比較することにより、第１対象画像中の欠陥領域を検出する。これにより、対象物の表面状態が変化しても第１参照画像を変更することなく欠陥を精度よく検出することができる。
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Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
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Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)