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1. (WO2018224068) MESS-SONDE FÜR STRAHLABTASTUNG
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Veröff.-Nr.: WO/2018/224068 Internationale Anmeldenummer PCT/DE2018/000175
Veröffentlichungsdatum: 13.12.2018 Internationales Anmeldedatum: 08.06.2018
IPC:
G01J 1/42 (2006.01) ,G01J 1/04 (2006.01) ,F21V 8/00 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
1
Fotometrie, z.B. fotografische Belichtungsmessgeräte
42
durch elektrische Strahlungsdetektoren
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
1
Fotometrie, z.B. fotografische Belichtungsmessgeräte
02
Einzelheiten
04
Optischer oder mechanischer Teil
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
21
Beleuchtung
V
Funktionsmerkmale oder Einzelheiten von Leuchten oder Beleuchtungssystemen; bauliche Kombinationen von Leuchten mit anderen Gegenständen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
8
Verwendung von Lichtleitern, z.B. Faseroptikeinrichtungen, in Beleuchtungsvorrichtungen oder -systemen
Anmelder:
PRIMES GMBH MEßTECHNIK FÜR DIE PRODUKTION MIT LASERSTRAHLUNG [DE/DE]; Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Max-Planck-Str. 2 64319 Pfungstadt, DE
Erfinder:
KRAMER, Reinhard; DE
MÄRTEN, Otto; DE
WOLF, Stefan; DE
KOGLBAUER, Andreas; DE
NIEDRIG, Roman; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 005 418.509.06.2017DE
Titel (EN) MEASURING PROBE FOR BEAM SCANNING
(FR) SONDE DE MESURE POUR L'ANALYSE DE RAYONS
(DE) MESS-SONDE FÜR STRAHLABTASTUNG
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a measuring probe for scanning light beams (10) or laser beams. The measuring probe is suitable for direct scanning of laser beams with very high power and for determining geometric parameters of a light beam (10) with high local resolution and with a high signal-to-noise distance, since the measuring probe is insensitive with respect to multiple reflections within the measuring probe. For this purpose, a device is proposed, which comprises a scanning body (20) with a light beam entry surface (22), a light beam exit surface (23), a sample light exit surface (25) and a probe area (30). The device further includes a detector (40) and a device for providing relative movements between the scanning body (20) and the light beam (10). The scanning body (20) is rod-shaped and consists of a light-conducting transparent material. The scanning body has a recess (21) for forming a surface portion (27) on the scanning body (20), which includes the light beam entry surface (22) or the light beam exit surface (23). A normal direction (28) of the light beam entry surface (22) is inclined at an angle a in the range of 5° to 20° with respect to a normal direction (29) of the light beam exit surface (23). The probe area (30) is arranged in a cross-sectional plane (26') of the scanning body (20), which is located in the region of the recess (21). A cross-sectional dimension (D') of the scanning body (20) in the cross-sectional plane (26') is at least 50% of a cross-sectional dimension (D) of the scanning body (20) in a cross-sectional plane (26) outside the recess (21). The probe area (30) has a light-deflecting structuring. The detector (40) is arranged to detect at least a part of the beam portion (15) deflected by the probe area (30) from the light beam (10).
(FR) L'invention concerne une sonde de mesure destinée à l'analyse de rayons lumineux (10) ou de rayons laser. La sonde de mesure est adaptée pour une analyse directe de rayons laser de très grande puissance et pour déterminer des paramètres géométriques d'un rayon lumineux (10) avec une grande résolution spatiale et avec un rapport signal/bruit élevé, car la sonde de mesure est insensible aux réflexions multiples à l'intérieur de la sonde de mesure. L'invention réalise à cet effet un arrangement qui contient un corps d'analyse (20) comprenant une surface d'entrée de rayon lumineux (22), comprenant une surface de sortie de rayon lumineux (23), comprenant une surface de sortie d'échantillon de lumière (25) et comprenant une zone de sonde (30). L'arrangement contient en outre un détecteur (40) et un dispositif servant à produire des mouvements relatifs entre le corps d'analyse (20) et le rayon lumineux (10). Le corps d'analyse (20) est en forme de tige et se compose d'un matériau transparent de guidage de lumière. Le corps d'analyse possède un évidement (21) destiné à former une portion de surface (27) au niveau du corps d'analyse (20), laquelle contient la surface d'entrée de rayon lumineux (22) ou la surface de sortie de rayon lumineux (23). Une direction normale (28) de la surface d'entrée de rayon lumineux (22) est inclinée par rapport à une direction normale (29) de la surface de sortie de rayon lumineux (23) d'un angle a dans la plage de 5° à 20°. La zone de sonde (30) est disposée dans un plan de section transversale (26') du corps d'analyse (20) qui se trouve dans la zone de l'évidement (21). Une cote de section transversale (D') du corps d'analyse (20) dans le plan de section transversale (26') est égale à au moins 50 % d'un cote de section transversale (D) du corps d'analyse (20) dans un plan de section transversale (26) en-dehors de l'évidement (21). La zone de sonde (30) possède une structuration de déviation de la lumière. Le détecteur (40) est disposé de manière à détecter au moins une partie d'une part de rayon (15) déviée hors du du rayon lumineux (10) par la zone de sonde (30).
(DE) Die Erfindung betrifft eine Mess-Sonde zur Abtastung von Lichtstrahlen (10) oder Laserstrahlen. Die Mess-Sonde ist geeignet zur direkten Abtastung von Laserstrahlen mit sehr hoher Leistung und zur Bestimmung von geometrischen Parametern eines Lichtstrahls (10) mit hoher Ortsauflösung und mit hohem Signal-Stör-Abstand, da die Mess-Sonde unempfindlich ist gegenüber Mehrfachreflexionen innerhalb der Mess-Sonde. Dazu wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die einen Abtastkörper (20) mit einer Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22), mit einer Lichtstrahl-Austrittsfläche (23), mit einer Probenlicht-Austrittsfläche (25), und mit einem Sonden-Bereich (30) enthält. Die Vorrichtung beinhaltet weiterhin einen Detektor (40) und eine Einrichtung zur Bereitstellung von Relativbewegungen zwischen dem Abtastkörper (20) und dem Lichtstrahl (10). Der Abtastkörper (20) ist stabförmig und besteht aus einem lichtleitenden, transparenten Material. Der Abtastkörper weist eine Aussparung (21) zur Ausbildung eines Flächenabschnitts (27) am Abtastkörper (20) auf, der die Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22) oder die Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) beinhaltet. Eine Normalen-Richtung (28) der Lichtstrahl-Eintrittsfläche (22) ist in einem Winkel a im Bereich von 5° bis 20° zu einer Normalen-Richtung (29) der Lichtstrahl-Austrittsfläche (23) geneigt. Der Sonden-Bereich (30) ist in einer Querschnittsebene (26') des Abtastkörpers (20) angeordnet, die sich im Bereich der Aussparung (21) befindet. Eine Querschnittsabmessung (D') des Abtastkörpers (20) in der Querschnittsebene (26') beträgt mindestens 50% einer Querschnittsabmessung (D) des Abtastkörpers (20) in einer Querschnittsebene (26) außerhalb der Aussparung (21). Der Sonden-Bereich (30) weist eine lichtablenkende Strukturierung auf. Der Detektor (40) ist angeordnet zur Erfassung von wenigstens einem Teil eines vom Sonden-Bereich (30) aus dem Lichtstrahl (10) abgelenkten Strahl-Anteils (15).
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)