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1. (WO2018219651) MEMS-GASSENSOR

Pub. No.:    WO/2018/219651    International Application No.:    PCT/EP2018/062765
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 17 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 27/12
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: SCHUERMANN, Gregor
Title: MEMS-GASSENSOR
Abstract:
Ein MEMS-Mediensensor, insbesondere MEMS-Gassensor, umfassend zumindest zwei Elektroden, die mittels einer Trägerschicht elektrisch getrennt voneinander angeordnet sind, wobei auf der Trägerschicht ein medien-sensitives Material zur elektrischen Verbindung der beiden Elektroden aufgebracht ist, wobei ein Oberflächenbereich zum Aufbringen des medien-sensitiven Materials auf der Trägerschicht eine Topographie aufweist, welche an eine Partikelgröße von Partikeln des medien-sensitiven Materials angepasst ist.