Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen

1. (WO2018219580) GASVERSORGUNGSSYSTEM UND GASVERSORGUNGSVERFAHREN

Pub. No.:    WO/2018/219580    International Application No.:    PCT/EP2018/061264
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018
IPC: C23C 16/448
Applicants: MEYER BURGER (GERMANY) AG
Inventors: LÖWEL, Oliver
FRÖHNER, Marco
BÖDDICKER, Alexander
Title: GASVERSORGUNGSSYSTEM UND GASVERSORGUNGSVERFAHREN
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Gasversorgungssystem mit einem Massenflusscontroller für Flüssigkeiten, Flüssigkeitsleitungen, einem Verdampfer zur Überführung eines Fluides von dem flüssigen in den gasförmigen Aggregatzustand insbesondere bei subatmosphärischen Druck, Gasleitungen, sowie einer Mischvorrichtung zur Mischung des Fluides mit einem Trägergas sowie ein entsprechendes Gasversorgungsverfahren. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Gasversorgungssystem vorzuschlagen, das lange Betriebszeiten zwischen Wartungsarbeiten sowie niedrige Wartungskosten ermöglicht. Die Aufgabe wird durch ein Gasversorgungssystem gelöst, bei welchem das Gasversorgungssystem in der Fluidflussrichtung zunächst den Massenflusscontroller, dann eine erste beheizbare Gasleitung, anschließend einen Verdampfer und die Mischvorrichtung aufweist.