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1. (WO2018219575) VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND MASSENSPEKTROMETER

Pub. No.:    WO/2018/219575    International Application No.:    PCT/EP2018/061159
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 03 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 49/00
H01J 49/42
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: ALIMAN, Michel
LAUE, Alexander
SCHUETZ, Andreas
REUTER, Rüdiger
Title: VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND MASSENSPEKTROMETER
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases, umfassend: Anregen von Ionen des zu untersuchenden Gases in einer FT-Ionenfalle, Aufnehmen eines ersten Frequenz-Spektrums (FS1) in einem ersten Messzeitintervall (FFT1) während oder nach dem Anregen der Ionen, wobei das erste Frequenz-Spektrum (FS1) Ionen-Frequenzen (fi) der angeregten Ionen und Störfrequenzen (fn) enthält, sowie Aufnehmen eines zweiten Frequenz-Spektrums (FS2) in einem zweiten Messzeitintervall (FFT2), wobei das zweite Frequenz-Spektrum (FS2) die Störfrequenzen (fn), aber nicht die Ionen-Frequenzen (fj) des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) enthält, sowie Vergleichen des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) mit dem zweiten Frequenz-Spektrum (FS2) zum Identifizieren der Störfrequenzen (fn) in dem ersten Frequenz-Spektrum (FS1). Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer, welches geeignet ist, das Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung des Gases durchzuführen.