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1. (WO2018219545) VORRICHTUNG, SYSTEM UND VERFAHREN ZUR TROCKNUNG EINER HALBLEITERSCHEIBE

Pub. No.:    WO/2018/219545    International Application No.:    PCT/EP2018/059682
Publication Date: Fri Dec 07 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 17 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/67
B06B 1/06
B08B 3/12
H01L 21/683
Applicants: CURO GMBH
Inventors: BUCHMANN, Harald
KENZLERS, Guido
Title: VORRICHTUNG, SYSTEM UND VERFAHREN ZUR TROCKNUNG EINER HALBLEITERSCHEIBE
Abstract:
Es wird eine Vorrichtung zur Trocknung einer Halbleiterscheibe (1), wobei die Vorrichtung mindestens eine Erzeugungseinheit (3) zur Erzeugung von akustischen Oberflächenwellen aufweist, wobei die Erzeugungseinheit (3) mindestens eine Aufbringeinheit (4) zum Aufbringen der akustischen Oberflächenwellen auf eine Oberfläche der Halbleiterscheibe (1) aufweist, wobei die Erzeugungseinheit (3) dazu ausgebildet ist, die akustischen Oberflächenwellen derart aufzubringen, dass die Oberflächenspannung einer auf der Halbleiterscheibe (1) befindlichen Flüssigkeit reduziert wird und/oder die Halbleiterscheibe (1) getrocknet wird.