Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen

1. (WO2018215615) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERMESSUNG EINER MESSKAPAZITÄT

Pub. No.:    WO/2018/215615    International Application No.:    PCT/EP2018/063717
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri May 25 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01R 27/26
Applicants: ELMOS SEMICONDUCTOR AKTIENGESELLSCHAFT
Inventors: RAEHSE, Norbert
Title: VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERMESSUNG EINER MESSKAPAZITÄT
Abstract:
Es wird eine Vorrichtung zur Messung des Kapazitätswerts einer zu vermessenden Kapazität (Cvar) vorgeschlagen. Sie umfasst einen ersten Sinus- Oszillator, den Messoszillator (QMEAS), und einen zweiten Sinus-Oszillator, den Referenzoszillator (QREF). Die Frequenz (fMEAs) des Ausgangssignals (SMEAS) des Messoszillators (QMEAS), im Folgenden auch als Messfrequenz (fMEAs) bezeichnet, hängt von der zu vermessenden Kapazität (Cvar) ab. Die Frequenz (fREF) des Ausgangssignals (SREF) des Referenzoszillators (QREF), im Folgenden auch als Referenzfrequenz (fREF) bezeichnet, hängt von einer Referenzkapazität (Cref) ab. Die Vorrichtung umfasst eine Teilvorrichtung, die das Verhältnis aus dem Frequenzwert der Frequenz (fREF) des Ausgangssignals (SREF) des Referenzoszillators (QREF) und dem Frequenzwert der Frequenz (fMEAs) des Ausgangssignals (SMEAS) des Messoszillators (QMEAS) bildet und dieses Verhältnis anschließend quadriert, um das Ergebnis dieser Quadrierung als einen Messwert (Out) bereitzustellen.