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1. (WO2018215054) VERFAHREN UND WERKZEUG ZUM ENTFERNEN EINER BESCHICHTUNG VON EINEM SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/215054    International Application No.:    PCT/EP2017/062389
Publication Date: Fri Nov 30 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 4/18
B23B 27/02
B23P 13/02
B23P 13/04
Applicants: GÜHRING KG
Inventors: LUTZ, Peter
Title: VERFAHREN UND WERKZEUG ZUM ENTFERNEN EINER BESCHICHTUNG VON EINEM SUBSTRAT
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und ein Werkzeug zum Entfernen eines Teilbereichs einer Beschichtung von einem Substrat, bei welchem der zu entfernende Teilbereich durch ein spanabhebendes Verfahren derart entfernt wird, dass ein Hinterschneiden des zu entfernenden Teilbereichs der Beschichtung erfolgt. Zum Hinterschneiden des zu entfernenden Teilbereichs der Beschichtung wird wenigstens ein relativ zu dem Substrat um eine Rotationsachse rotierendes spanabhebendes Werkzeugrelativ zu dem Substrat entlang einer Vorschubrichtung, welche parallel zu einer die Beschichtung aufweisenden Fläche verläuft, versetzt, wobei zusammen mit der Beschichtung auch eine unmittelbar an die Beschichtung angrenzende Substratschicht abgetragen wird. Dabei dringt das Werkzeug, in Vorschubrichtung betrachtet, tiefer in das Substrat ein als in die zu entfernende Beschichtung.