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1. (WO2018210628) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER NANOKRISTALLINEN, GASSENSITIVEN SCHICHTSTRUKTUR, ENTSPRECHENDE NANOKRISTALLINE, GASSENSITIVE SCHICHTSTRUKTUR, UND GASSENSOR MIT EINER ENTSPRECHENDEN NANOKRISTALLINEN, GASSENSITIVEN SCHICHTSTRUKTUR

Pub. No.:    WO/2018/210628    International Application No.:    PCT/EP2018/061851
Publication Date: Fri Nov 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed May 09 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 27/12
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: KRAUSS, Andreas
PREISS, Elisabeth
Title: VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER NANOKRISTALLINEN, GASSENSITIVEN SCHICHTSTRUKTUR, ENTSPRECHENDE NANOKRISTALLINE, GASSENSITIVE SCHICHTSTRUKTUR, UND GASSENSOR MIT EINER ENTSPRECHENDEN NANOKRISTALLINEN, GASSENSITIVEN SCHICHTSTRUKTUR
Abstract:
Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen einer nanokristallinen, gassensitiven Schichtstruktur, eine entsprechende nanokristalline, gassensitive Schichtstruktur, und einen Gassensor mit einer entsprechenden nanokristallinen, gassensitiven Schichtstruktur. Das Verfahren zum Herstellen einer nanokristallinen, gassensitiven Schichtstruktur (201) auf einem Substrat (101) umfasst die Schritte: Abscheiden einer Basisschicht (102) aus einem Basismaterial, Abscheiden einer Dotierschicht (103) aus einem Dotiermaterial, Wiederholen der vorangegangenen Schritte, und Durchführen eines Temperschritts, wodurch eine gassensitive, nanokristalline Schichtstruktur (200) hergestellt wird.