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1. (WO2018206731) ABSTANDSMESSANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG EINES ABSTANDES ZU EINEM OBJEKT
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Veröff.-Nr.: WO/2018/206731 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/062150
Veröffentlichungsdatum: 15.11.2018 Internationales Anmeldedatum: 09.05.2018
IPC:
G01B 9/02 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
9
Instrumente wie in den Untergruppen aufgeführt und gekennzeichnet durch die Verwendung von optischen Messmitteln
02
Interferometer
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
24
zum Messen von Umrisslinien oder Krümmungen
Anmelder:
TAYLOR HOBSON LTD. [GB/GB]; P.O. Box 36 2 New Star Road Leicester LE4 9 JQ, GB
Erfinder:
AM WEG, Christian; DE
MAY, Thilo; DE
PETTER, Jürgen; DE
EISWIRT, Peter; DE
SHARMA, Sucheta; DE
Vertreter:
WEILNAU, Carsten; DE
Prioritätsdaten:
17170788.812.05.2017EP
Titel (EN) DISTANCE MEASURING ARRANGEMENT FOR DETERMINING A DISTANCE FROM AN OBJECT
(FR) ASSEMBLAGE DE MESURE DE DISTANCE PRÉVU POUR DÉTERMINER UNE DISTANCE PAR RAPPORT À UN OBJET
(DE) ABSTANDSMESSANORDNUNG ZUR BESTIMMUNG EINES ABSTANDES ZU EINEM OBJEKT
Zusammenfassung:
(EN) The present disclosure relates to a distance measuring arrangement for determining a distance from an object (20), wherein the distance measuring arrangement comprises the following: – at least one light source (12) for producing at least one first monochromatic and interference-capable light beam (12.1) with a first wavelength and for producing at least one second monochromatic and interference-capable light beam (12.2) with a second wavelength, – a multiplexer (14) for coupling or combining the at least first light beam (12.1) and the at least second light beam (12.2) into a common measurement beam (M), – an output coupling element (45) for splitting the measurement beam (M) into a reference beam (R) and into a signal beam (S), wherein the reference beam (R) propagates along a reference path (RP) and wherein the signal beam (S) propagates along a signal path (SP), – a phase modulator (60; 160), which is arranged in the signal path (SP) and which is configured to modulate the phase of the signal beam (S) in a time-periodic manner.
(FR) La présente publication concerne un assemblage de mesure de distance prévu pour déterminer une distance par rapport à un objet (20), l'assemblage de mesure de distance comprenant ce qui suit : - au moins une source lumineuse (12) prévue pour générer au moins un premier faisceau lumineux (12.1) monochromatique et apte aux interférences d'une première longueur d'onde et pour générer au moins un deuxième faisceau lumineux (12.2) monochromatique et apte aux interférences d'une deuxième longueur d'onde, - un multiplexeur (14) prévu pour coupler ou combiner au moins le premier faisceau lumineux (12.1) avec au moins le deuxième faisceau lumineux (12.2) en un faisceau de mesure commun (M), - un élément de découplage (45) prévu pour diviser le faisceau de mesure (M) en un faisceau de référence (R) et en un faisceau de signal (S), le faisceau de référence (R) se propageant suivant un trajet de référence (RP) et le faisceau de signal (S) se propageant suivant un trajet de signal (SP), - un modulateur de phase (60 ; 160) qui est agencé dans le trajet de signal (SP) et qui est conçu pour moduler la phase du faisceau de signal (S) de manière périodique.
(DE) Die vorliegende Offenbarung betrifft eine Abstandsmessanordnung zur Bestimmung eines Abstandes zu einem Objekt (20), wobei die Abstandsmessanordnung folgendes umfasst: - zumindest eine Lichtquelle (12) zur Erzeugung zumindest eines ersten monochromatischen und interferenzfähigen Lichtstrahls (12.1) einer ersten Wellenlänge und zur Erzeugung zumindest eines zweiten monochromatischen und interferenzfähigen Lichtstrahls (12.2) einer zweiten Wellenlänge, - einen Multiplexer(14) zum Koppeln oder Kombinieren des zumindest ersten Lichtstrahls (12.1) und des zumindest zweiten Lichtstrahls (12.2) in einen gemeinsamen Messstrahl (M), - einem Auskoppelelement (45) zum Aufteilen des Messstrahls (M) in einen Referenzstrahl (R) und in einen Signalstrahl (S), wobei der Referenzstrahl (R) entlang eines Referenzpfads (RP) und wobei der Signalstrahl (S) entlang eines Signalpfads (SP) propagiert, - einen Phasenmodulator (60; 160), welcher im Signalpfad (SP) angeordnet ist und welcher dazu ausgestaltet ist, die Phase des Signalstrahls (S) zeitlich periodisch zu modulieren.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)