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1. (WO2018206267) VERFAHREN ZUM VERBINDEN VON BAUELEMENTEN MITTELS METALLPASTE

Pub. No.:    WO/2018/206267    International Application No.:    PCT/EP2018/060155
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 21 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/60
H01L 21/48
H05K 3/32
B22F 7/04
B22F 1/00
B23K 35/02
Applicants: HERAEUS DEUTSCHLAND GMBH & CO. KG
Inventors: SCHMITT, Wolfgang
SCHÄFER, Michael
DUCH, Susanne Klaudia
NACHREINER, Jens
CHEW, Ly May
Title: VERFAHREN ZUM VERBINDEN VON BAUELEMENTEN MITTELS METALLPASTE
Abstract:
Verfahren zum Verbinden von Bauelementen, umfassend die Schritte: (1) Aufträgen einer organisches Lösemittel enthaltenden Metallpaste auf die Kontaktfläche eines ersten Bauelementes, (2) gegebenenfalls Aufträgen der Metallpaste auf die Kontaktfläche eines mit dem ersten Bauelement zu verbindenden zweiten Bauelementes, (3) Herstellen einer Sandwichanordnung aus den beiden Bauelementen mit einer dazwischen befindlichen Schicht der Metallpaste, (4) Trocknen der zwischen den beiden Bauelementen befindlichen Schicht der Metallpaste, und (5) druckloses Sintern der die Schicht aus getrockneter Metallpaste umfassenden Sandwichanordnung, wobei das Trocknen und das drucklose Sintern unter Bestrahlen mit IR-Strahlung mit einer Peakwellenlänge im Wellenlängenbereich von 750 bis 1500 nm erfolgt. Die Bauelemente können aus der Gruppe bestehend aus Substraten, aktiven Bauelementen und passiven Bauelementen ausgewählt sein. Eines der oder beide Bauelemente können für die IR-Strahlung durchlässig sein. Schritt (4) und/oder Schritt (5) kann in einer Sauerstoff enthaltenden oder in sauerstofffreier Atmosphäre durchgeführt werden, wobei in beiden Fällen eines der oder beide Bauelemente eine oxidationsempfindliche Kontaktfläche besitzen können.