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1. (WO2018206233) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR ROBUSTEN, TIEFENSCANNENDEN/FOKUSSIERENDEN STREIFEN-TRIANGULATION MIT MEHREREN WAVELETS

Pub. No.:    WO/2018/206233    International Application No.:    PCT/EP2018/059647
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Apr 17 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01B 11/25
Applicants: UNIVERSITÄT STUTTGART
Inventors: KÖRNER, Klaus
Title: VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR ROBUSTEN, TIEFENSCANNENDEN/FOKUSSIERENDEN STREIFEN-TRIANGULATION MIT MEHREREN WAVELETS
Abstract:
Vorgeschlagen werden eine Anordnung und ein Verfahren zur tiefenscannenden Streifen-Triangulation mit internem oder externem Tiefen-Scan, insbesondere auch für die 3D-Gestaltmessung in Mikroskopie und Mesoskopie. Es soll die Robustheit der Messung mit Wavelet-Signal-Erzcugung aus einem Bilderstapel vergrößert werden. Das Auftreten der bekannten und sehr unerwünschten 2Pi-Phasensprünge in der Phasenkarte soll weitestgehend vermieden werden. Dazu werden bei einer Messung anstelle eines Wavelets mindestens zwei Wavelets mit Kontrasteinhüllender erzeugt. Dies erfolgt durch eine zeitgleiche - dann vorzugsweise mit spektraler Trennung - oder durch eine sequenzielle Projektion von zwei Streifenbildern mit unterschiedlicher Triangulationswellenlänge auf das Messobjekt.