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1. (WO2018204963) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EDELMETALLMODIFIZIERTER SILICIUM-NANOWIRES

Pub. No.:    WO/2018/204963    International Application No.:    PCT/AT2018/060091
Publication Date: Fri Nov 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018
IPC: G01N 21/65
C23C 14/00
C23C 14/06
B82Y 40/00
B82Y 15/00
C23C 14/20
Applicants: TECHNISCHE UNIVERSITÄT WIEN
Inventors: MÜLLER, Danny
KNOLL, Christian
WEINBERGER, Peter
OFNER, Johannes
BITTNER, Roland
LENDL, Bernhard
HOFFMANN, Helmuth
Title: VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EDELMETALLMODIFIZIERTER SILICIUM-NANOWIRES
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von edelmetallmodifizierten Silicium-Nanowires, umfassend einen Schritt des Erzeugens der Silicium-Nanowires in einem Siliciumwafer durch silberkatalysiertes chemisches Nassätzen sowie einen Schritt des Aufbringens eines oder mehrerer Edelmetalle auf die Oberfläche der Nanowires, dadurch gekennzeichnet, dass mit Gold beschichtete Silicium-Nanowires hergestellt werden, indem a) zunächst die Silicium-Nanowires im Siliciumwafer durch silberkatalysiertes chemisches Nassätzen mit einer Ätzlösung erzeugt werden, wobei die Konzentration und die Einwirkdauer der Ätzlösung so aufeinander abgestimmt werden, dass Nanowires mit einer Länge < 15 μm gebildet werden; und b) anschließend die erhaltenen Nanowires mit Gold als Edelmetall durch Sputtern beschichtet werden, wobei die Dauer der Sputterbeschichtung so gewählt wird, dass eine Goldschicht mit einer Dicke zwischen 20 und 130 nm gebildet wird.