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1. (WO2018201170) VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINES HETERODYNEN ELEKTROSTATISCHEN KRAFTMIKROSKOPS
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Veröff.-Nr.: WO/2018/201170 Internationale Anmeldenummer PCT/AT2018/050008
Veröffentlichungsdatum: 08.11.2018 Internationales Anmeldedatum: 02.05.2018
IPC:
G01Q 40/00 (2010.01) ,G01Q 60/46 (2010.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
Q
Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür; Anwendung von Rastersondentechniken, z.B. Rastersondenmikroskopie [Scanning-Probe Microscopy = SPM]
40
Kalibrierung, z.B. von Sonden
G Physik
01
Messen; Prüfen
Q
Rastersondentechniken oder Vorrichtungen hierfür; Anwendung von Rastersondentechniken, z.B. Rastersondenmikroskopie [Scanning-Probe Microscopy = SPM]
60
Besondere Arten der Rastersondenmikroskopie [SPM] oder Vorrichtungen hierfür; wesentliche Bestandteile hiervon
46
Kapazitätsrastermikroskopie [Scanning Capacitance Microscopy = SCM] und Vorrichtungen hierfür, z.B. SCM-Sonden
Anmelder:
UNIVERSITÄT LINZ [AT/AT]; Altenberger Straße 69 4040 Linz, AT
Erfinder:
GRAMSE, Georg; AT
Vertreter:
HÜBSCHER, Helmut; AT
HÜBSCHER, Gerd; AT
HELLMICH, Karl Winfried; AT
Prioritätsdaten:
A50358/201703.05.2017AT
Titel (EN) METHOD FOR CALIBRATING A HETERODYNE ELECTROSTATIC FORCE MICROSCOPE
(FR) PROCÉDÉ PERMETTANT D’ÉTALONNER UN MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE ÉLECTROSTATIQUE HÉTÉRODYNE
(DE) VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINES HETERODYNEN ELEKTROSTATISCHEN KRAFTMIKROSKOPS
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a method for calibrating a heterodyne electrostatic force microscope having a sample receptacle (1) and a measuring probe (3) which lies opposite the sample receptacle (1) and to which an amplitude-modulated, high-frequency alternating voltage is applied, wherein the oscillations of the measuring probe (3) are detected by a laser detector (9), and the output signal thereof is supplied to a lock-in amplifier (10) for providing a signal component which is dependent on the capacitance gradient between the sample (2) and the measuring probe (3). To create simple calibration conditions, the amplitude of the signal component dependent on the capacitance gradient between the sample (2) and the measuring probe (3) is regulated to a constant value by controlling the amplitude of the high-frequency alternating voltage of the signal generator (6).
(FR) L'invention concerne un procédé permettant d'étalonner un microscope à force atomique électrostatique hétérodyne comprenant un porte-échantillon (1) et une sonde de mesure (3) en regard du porte-échantillon (1), laquelle est soumise à une tension alternative haute fréquence modulée en amplitude, les vibrations de la sonde de mesure (3) étant détectées par un détecteur laser (9) et le signal de sortie de celui-ci étant acheminé à un amplificateur à détection synchrone (10) pour produire une composante de signal dépendante de gradients de capacité entre l'échantillon (2) et la sonde de mesure (3). L'invention vise à simplifier les conditions d'étalonnage. À cet effet, l'amplitude de la composante de signal dépendante de gradients de capacité entre l'échantillon (2) et la sonde de mesure (3) est réglée à une valeur constante par une commande de l'amplitude de la tension alternative haute fréquence du générateur de signaux (6).
(DE) Es wird ein Verfahren zum Kalibrieren eines heterodynen elektrostatischen Kraftmikroskops mit einer Probenaufnahme (1) und einer der Probenaufnahme (1) gegenüberliegenden Messsonde (3) beschrieben, die mit einer amplitudenmodulierten, hochfrequenten Wechselspannung beaufschlagt wird, wobei die Schwingungen der Messsonde (3) durch einen Laserdetektor (9) erfasst und dessen Ausgangssignal einem Lock-in-Verstärker (10) zur Bereitstellung eines vom Kapazitätsgradienten zwischen Probe (2) und Messsonde (3) abhängigen Signalanteils zugeführt wird. Um einfache Kalibrierbedingungen zu schaffen wird vorgeschlagen, dass die Amplitude des vom Kapazitätsgradienten zwischen Probe (2) und Messsonde (3) abhängigen Signalanteils durch eine Steuerung der Amplitude der hochfrequenten Wechselspannung des Signalgenerators (6) auf einen konstanten Wert geregelt wird.
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Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)