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1. (WO2018197556) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REGELUNG VON IN EINE LOCHBLENDE EINGESTRAHLTEN INTENSITÄTEN UND/ODER SPEKTRALEN ANTEILEN EINER STRAHLUNG

Pub. No.:    WO/2018/197556    International Application No.:    PCT/EP2018/060585
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Apr 26 01:59:59 CEST 2018
IPC: G02B 3/14
G02B 26/02
G02B 6/26
Applicants: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventors: EGLOFF, Thomas
HILBERT, Michael
HOLUB, Oliver
Title: VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REGELUNG VON IN EINE LOCHBLENDE EINGESTRAHLTEN INTENSITÄTEN UND/ODER SPEKTRALEN ANTEILEN EINER STRAHLUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Regelung von in eine Lochblende(8) eingestrahlten Intensitäten(P0) und/oder spektralen Anteilen(4) einer Strahlung(3), umfassend Schritte A bis D. In dem Schritt A werden in die Lochblende(8) eingestrahlte Intensitäten(P0) und/oder spektrale Anteile(4) der Strahlung(3) in Abhängigkeit einer räumlichen Position eines Fokuspunkts(7) der Strahlung(3) und/oder eines Fokuspunkts(7B,7G,7Y,7R) eines spektralen Anteils(4) relativ zur Lochblende(8) ermittelt und als Messwerte gespeichert. In Schritt B wird eine gewünschte einzustrahlende Intensität und/oder spektrale Anteile(4) der Strahlung(3) ausgewählt und in Schritt C wird anhand der ermittelten Messwerte ein Fokuspunkt(7) ausgewählt, der zur Einstrahlung der gewünschten Intensitäten und/oder spektralen Anteile(4) in die Lochblende(8) führt. Die Strahlung(3) und/oder spektrale Anteile(4) der Strahlung(3) werden mittels eines ansteuerbaren optischen Elements(6) in den ausgewählten Fokuspunkt(7) fokussiert. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung(1) zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens sowie ein Beleuchtungsmodul(12)umfassend eine erfindungsgemäße Vorrichtung(1)und ein Mikroskop(M).