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1. WO2018193109 - MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN

Veröffentlichungsnummer WO/2018/193109
Veröffentlichungsdatum 25.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/060222
Internationales Anmeldedatum 20.04.2018
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 21.02.2019
IPC
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3
Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
B81B 3/00 (2006.01)
CPC
A61B 5/00
B81B 2201/0257
B81B 2201/032
B81B 2201/036
B81B 2203/051
B81B 2207/012
Anmelder
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Erfinder
  • SCHENK, Harald; DE
  • CONRAD, Holger; DE
Vertreter
  • KÖNIG, Andreas; DE
  • ZIMMERMANN, Tankred; DE
  • STÖCKELER, Ferdinand; DE
  • ZINKLER, Franz; DE
  • SCHENK, Markus; DE
  • HERSINA, Günter; DE
  • BURGER, Markus; DE
  • SCHAIRER, Oliver; DE
  • PFITZNER, Hannes; DE
Prioritätsdaten
10 2017 206 766.721.04.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN
(EN) MEMS CONVERTER FOR INTERACTION WITH A VOLUME FLOW RATE OF A FLUID, AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) TRANSDUCTEUR MEMS DESTINÉ À INTERAGIR AVEC UN DÉBIT VOLUMIQUE D’UN FLUIDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
Zusammenfassung
(DE)
Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das einen Schichtstapel mit einer Mehrzahl von Schichten aufweist, die eine Mehrzahl von Substratebenen bilden, und das eine Kavität in dem Schichtstapel aufweist. Der MEMS-Wandler umfasst ein elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich in zumindest einer Bewegungsebene der Mehrzahl von Substratebenen verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements in der Bewegungsebene und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen. Der MEMS-Wandler umfasst ein elektronischen Schaltung, die in ei- ner Schicht des Schichtstapels angeordnet ist, wobei die elektronische Schaltung mit dem elektromechanischen Wandler verbunden ist, und die ausgebildet ist, um eine Konvertierung zwischen einer Verformung des verformbaren Elements und einem elektrischen Signal bereitzustellen.
(EN)
The invention relates to a MEMS converter for interaction with a volume flow rate of a fluid, the MEMS converter comprising a substrate which has a layer stack with a plurality of layers forming a plurality of substrate planes, and which has a cavity in the layer stack. The MEMS converter comprises an electromechanical converter which is connected to the substrate in the cavity and has an element which can be deformed in at least one plane of movement of the plurality of substrate planes, wherein a deformation of the deformable element in the plane of movement and the volume flow rate of the fluid are causally related. The MEMS converter comprises an electronic circuit which is located in a layer of the layer stack, wherein the electronic circuit is connected to the electromechanical converter and is designed to provide a conversion between a deformation of the deformable element and an electric signal.
(FR)
L’invention concerne un transducteur MEMS destiné à interagir avec un débit volumique d’un fluide, lequel transducteur comprend un substrat comportant un empilement de couches pourvu d’une pluralité de couches qui forment une pluralité de niveaux de substrat, et comportant une cavité ménagée dans l’empilement de couches. Le transducteur MEMS comprend un transducteur électromécanique qui est connecté au substrat dans la cavité et qui comporte un élément déformable dans au moins un plan de déplacement de la pluralité de niveaux de substrat. Une déformation de l’élément déformable dans le plan de déplacement et le débit volumique du fluide sont liés de manière causale. Le transducteur MEMS comprend un circuit électronique qui est disposé dans une couche de l’empilement de couches. Le circuit électronique est connecté au transducteur électromécanique et est conçu pour fournir une conversion entre une déformation de l’élément déformable et un signal électrique.
Auch veröffentlicht als
EP2018718833
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten