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1. (WO2018193014) VAKUUMVENTIL MIT KRAFTSENSOR

Pub. No.:    WO/2018/193014    International Application No.:    PCT/EP2018/059988
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Apr 20 01:59:59 CEST 2018
IPC: F16K 51/02
F16K 37/00
F16K 3/10
F16K 3/18
G01L 1/22
Applicants: VAT HOLDING AG
Inventors: ESCHENMOSER, Adrian
HOFER, Andreas
Title: VAKUUMVENTIL MIT KRAFTSENSOR
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil mit einer Sensoranordnung mit mindestens einem ein verformungsempfindliches Element aufweisenden Kraftsensor (11a, 11b, 11c, 11d, 11e, 11f), wobei die Sensoranordnung derart ausgebildet ist, dass durch die Sensoranordnung ein Messsignal bezüglich einer durch eine erste (6a) und eine zweite (6b) Dichtfläche erzeugten Dichtungsverpressung der zwischen der ersten und der zweiten Dichtfläche liegenden Dichtung (10) erfasst wird.