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1. (WO2018192902) SUSZEPTOR ZUM HALTEN EINER HALBLEITERSCHEIBE MIT ORIENTIERUNGSKERBE SOWIE ABSCHEIDEVERFAHREN

Pub. No.:    WO/2018/192902    International Application No.:    PCT/EP2018/059726
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/687
C30B 25/12
Applicants: SILTRONIC AG
Inventors: SCHAUER, Reinhard
Title: SUSZEPTOR ZUM HALTEN EINER HALBLEITERSCHEIBE MIT ORIENTIERUNGSKERBE SOWIE ABSCHEIDEVERFAHREN
Abstract:
Suszeptor zum Halten einer Halbleiterscheibe mit Orientierungskerbe während des Abscheidens einer Schicht auf einer Vorderseite der Halbleiterscheibe und Verfahren zum Abscheiden der Schicht unter Verwendung des Suszeptors. Der Suszeptor umfasst einen Suszeptorring und einen Suszeptorboden, und der Suszeptorring eine Ablagefläche zum Ablegen der Halbleiterscheibe im Randbereich einer Rückseite der Halbleiterscheibe und eine an die Ablagefläche angrenzende stufenförmigen äußere Begrenzung des Suszeptorrings. Der Suszeptor weist vier Positionen auf, an denen sich die Struktur des Suszeptors unterscheidet von der Struktur des Suszeptors an weiteren vier Positionen, wobei der Abstand von einer der vier Positionen zur nächsten der vier Positionen 90° und der Abstand von einer der vier Positionen zur nächsten weiteren Position 45° beträgt, und eine der vier Positionen eine Notch-Position ist, an der sich die Struktur des Suszeptors unterscheidet von der Struktur des Suszeptors an den drei anderen der vier Positionen des Suszeptors.