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1. WO2018192902 - SUSZEPTOR ZUM HALTEN EINER HALBLEITERSCHEIBE MIT ORIENTIERUNGSKERBE SOWIE ABSCHEIDEVERFAHREN

Veröffentlichungsnummer WO/2018/192902
Veröffentlichungsdatum 25.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/059726
Internationales Anmeldedatum 17.04.2018
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 18.09.2018
IPC
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683
zum Aufnehmen oder Greifen
687
mit mechanischen Mitteln, z.B. Halte-, Klemm- oder Pressvorrichtungen
C Chemie; Hüttenwesen
30
Züchten von Kristallen
B
Züchten von Einkristallen; Gerichtetes Erstarren von eutektischen Stoffen oder gerichtetes Entmischen von eutektischen Stoffen; Reinigen von Stoffen durch Zonenschmelzen; Herstellung eines homogenen polykristallinen Stoffes mit definierter Struktur; Einkristalle oder homogene polykristalline Stoffe mit definierter Struktur; Nachbehandlung von Einkristallen oder eines homogenen polykristallinen Stoffes mit definierter Struktur; Apparate hierfür
25
Erzeugen von Einkristallen durch chemische Reaktion von Gasen, z.B. Dampfphasen-Epitaxie mit chemischer Reaktion
02
Epitaktisches Schichtenwachstum
12
Substrathalter oder -träger
H01L 21/687 (2006.01)
C30B 25/12 (2006.01)
CPC
C23C 16/4585
H01L 21/68735
H01L 21/68785
Anmelder
  • SILTRONIC AG [DE/DE]; Hanns-Seidel-Platz 4 81737 München, DE
Erfinder
  • SCHAUER, Reinhard; DE
Vertreter
  • STAUDACHER, Wolfgang; DE
Prioritätsdaten
10 2017 206 671.720.04.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) SUSZEPTOR ZUM HALTEN EINER HALBLEITERSCHEIBE MIT ORIENTIERUNGSKERBE SOWIE ABSCHEIDEVERFAHREN
(EN) SUSCEPTOR FOR HOLDING A SEMICONDUCTOR WAFER HAVING AN ORIENTATION NOTCH AND SEPARATION PROCESS
(FR) SUSPECTEUR DESTINÉ À MAINTENIR UNE TRANCHE DE SEMI-CONDUCTEUR AU MOYEN DE L'ENCOCHE D'ORIENTATION AINSI QUE PROCÉDÉ DE SÉPARATION
Zusammenfassung
(DE)
Suszeptor zum Halten einer Halbleiterscheibe mit Orientierungskerbe während des Abscheidens einer Schicht auf einer Vorderseite der Halbleiterscheibe und Verfahren zum Abscheiden der Schicht unter Verwendung des Suszeptors. Der Suszeptor umfasst einen Suszeptorring und einen Suszeptorboden, und der Suszeptorring eine Ablagefläche zum Ablegen der Halbleiterscheibe im Randbereich einer Rückseite der Halbleiterscheibe und eine an die Ablagefläche angrenzende stufenförmigen äußere Begrenzung des Suszeptorrings. Der Suszeptor weist vier Positionen auf, an denen sich die Struktur des Suszeptors unterscheidet von der Struktur des Suszeptors an weiteren vier Positionen, wobei der Abstand von einer der vier Positionen zur nächsten der vier Positionen 90° und der Abstand von einer der vier Positionen zur nächsten weiteren Position 45° beträgt, und eine der vier Positionen eine Notch-Position ist, an der sich die Struktur des Suszeptors unterscheidet von der Struktur des Suszeptors an den drei anderen der vier Positionen des Suszeptors.
(EN)
The invention relates to a susceptor for holding a semiconductor wafer having an orientation notch during the separating of a layer on a front side of the semiconductor wafer and to a method for separating the layer using the susceptor. The susceptor comprises a susceptor ring and a susceptor floor and the susceptor ring comprises a depositing surface for depositing the semiconductor wafer in the edge region of a rear side of the semiconductor wafer and a stepped outer boundary of the susceptor ring adjoining the depositing surface. The susceptor has four positions, at which the structure of the susceptor differs from the structure of the susceptor at an additional four positions, wherein the distance from one of the four positions to the next of the four positions equals 90° and the distance from one of the four positions to the next additional position equals 45°, and one of the four positions is a notch position, at which the structure of the susceptor differs from the structure of the susceptor on the three other of the four positions of the susceptor.
(FR)
La présente invention concerne un suscepteur destiné à maintenir une tranche de semi-conducteur avec une encoche d'orientation lors de la séparation d'une couche d'une partie avant de la tranche de semi-conducteur et un procédé de séparation de couche à l'aide du suscepteur. Le suscepteur comporte un anneau de suscepteur et un fond de suscepteur et l'anneau de suscepteur comporte une surface de dépôt, destiné à déposer la tranche de semi-conducteur dans une zone de bordure d'une partie arrière de la tranche de semi-conducteur et une délimitation extérieure étagée de l'anneau de suscepteur, adjacente à la surface de dépôt. Le suscepteur comporte quatre positions, auxquelles la structure du suscepteur diffère de la structure du suscepteur aux quatre autres positions, la distance entre l'une des quatre positions et la suivante des quatre positions étant de 90° et la distance entre l'une des quatre positions et la suivante autre position étant de 45° et l'une des quatre positions étant une position notch, à laquelle la structure du suscepteur diffère de la structure du suscepteur aux trois autres des quatre positions du suscepteur.
Auch veröffentlicht als
EP2018719803
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten