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1. (WO2018189334) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LINSENELEMENTEN UND VON GEHÄUSTEN, STRAHLUNGSEMPFINDLICHEN BAUELEMENTEN AUF WAFEREBENE

Pub. No.:    WO/2018/189334    International Application No.:    PCT/EP2018/059460
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018
IPC: B29D 11/00
G02B 13/00
G02B 3/00
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
CHRISTIAN-ALBRECHTS-UNIVERSITÄT ZU KIEL
Inventors: LASKE, Norman
QUENZER, Hans-Joachim
STENCHLY, Vanessa
KULKARNI, Amit
SCHULZ-WALSEMANN, Arne Veit
Title: VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON LINSENELEMENTEN UND VON GEHÄUSTEN, STRAHLUNGSEMPFINDLICHEN BAUELEMENTEN AUF WAFEREBENE
Abstract:
Ein Herstellungsverfahren (100) umfasst ein Fixieren (200) von Kugelelementen (14) aus einem Halbleitermaterial mittels Wärme und Druck an einem Trägersubstrat (22); und einseitiges Dünnen (300) der an dem Trägersubstrat (22) fixierten Kugelelemente (14), um plankonvexe Linsenelemente (24) aus einem Halbleitermaterial zu bilden.